[发明专利]一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置

说明书

本发明公开了一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，稀释装置包括第一气管、第二气管、出气管、分流稀释组件、回流管、回收泵，第一气管和第二气管分别连接待混合的两路气体所在容器，第一气管和第二气管合流通入分流稀释组件内，分流稀释组件还连接出气管和回流管，分流稀释组件将混合气体定比分流后分别排往出气管和回流管，出气管上设置浓度计。分流稀释组件包括器壳、进气腔、出气腔、分流管，器壳设置封闭的进气腔、出气腔，器壳中间位置作为壳程，分流管穿过壳程且两头分别连接进气腔、出气腔，进气腔连接第一气管和第二气管，出气腔连接出气管，回流管连接器壳壳程侧壁；分流管包括棉管层，棉管层浸润非极性溶剂。

技术领域

本发明涉及电子气体处理技术领域，具体为一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置。

背景技术

电子气体是指半导体行业所使用的特殊气体，是电子工业的粮食与血液。常见的电子气体有WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等，特气在进行输出时，常常需要进行稀释，而常用的稀释气体有氮气、氩气等。

传统的稀释都是从改变流量比例入手，这其中涉及到流路上阀门开度的调整，所以，混合气比例灵敏度一直是个难题，阀门的开度轻微调整，也会对该处流动的气体流动特性产生较大影响，所以，流量的误差很难进一步减小，由此造成稀释比例无法进一步提高的问题；

还有就是，几乎所有的稀释都是增加稀释气的量，从而让功能气的浓度降低，稀释气的使用存在较大的浪费，一套特气瓶组中，常常配备多于理论比例值的稀释气体，因为为了调节时的余量考虑，由此造成使用上的浪费以及气瓶占用的增加。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：

一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，稀释装置包括第一气管、第二气管、出气管、分流稀释组件、回流管、回收泵，第一气管和第二气管分别连接待混合的两路气体所在容器，也就是功能气所在的第一气瓶和稀释气所在的第二气瓶，在本文后续，以常用的CLF3(三氟化氯)作为电子气体代表，以N2(氮气)作为稀释用气体代表，两路气体分别从气瓶中取用并汇总，送往分流稀释组件，第一气管和第二气管合流通入分流稀释组件内，分流稀释组件还连接出气管和回流管，分流稀释组件将混合气体定比分流后分别排往出气管和回流管，出气管上设置浓度计。三氟化氯和氮气在第一气管和第二气管中通过调整阀门开度而实现粗略的混合，在分流稀释组件中，将通往出气管的气体部分中三氟化氯的浓度降低，而另一部分通往回流管的气体则全部为三氟化氯，相当于以抽取三氟化氯的形式，将高于预期的三氟化氯抽取出来进行回流回收，实现制取气体的三氟化氯浓度的降低，从降低组分自身量的方面入手，而不是增加稀释用的氮气的量而完成稀释目的，如此而言的好处在于，避开调整管路流量的阀门开度误差位置，提升气体浓度精确性，浓度计用于检测排出气是否符合需求，第一气管、第二气管、出气管上常见设置的用于手动控制与自动控制的手阀、电磁阀均进行配置，避免气体在单管内反流的止回阀也每条管路进行配置。

进一步的，分流稀释组件包括器壳、进气腔、出气腔、分流管，器壳设置封闭的进气腔、出气腔，器壳中间位置作为壳程，分流管穿过壳程且两头分别连接进气腔、出气腔，进气腔连接第一气管和第二气管，出气腔连接出气管，回流管连接器壳壳程侧壁；

分流管包括棉管层，棉管层浸润非极性溶剂。