[发明专利]一种晶圆光刻旋转设备

权利要求书

1.一种晶圆光刻旋转设备，其结构包括动力底座（1）、机体（2）、控制板（3），其特征在于：

所述动力底座（1）顶面与机体（2）底面嵌固连接，所述控制板（3）嵌入于机体（2）正面；

所述机体（2）包括外壳（21）、固定套（22）、观察板（23）、旋转台（24），所述固定套（22）嵌入于外壳（21）顶面，所述观察板（23）嵌入于外壳（21）左侧，所述旋转台（24）底部与外壳（21）内层嵌固连接；

所述旋转台（24）包括传动头（241）、连接框（242）、扭柄（243）、接触台（244），所述传动头（241）顶面与连接框（242）底面焊接连接，所述连接框（242）顶面与接触台（244）底面焊接连接，所述接触台（244）底面通过扭柄（243）与传动头（241）顶面连接；

所述接触台（244）包括底板（A1）、滑动槽（A2）、夹头（A3）、防滑球（A4），所述底板（A1）顶面与滑动槽（A2）为一体化成型，所述夹头（A3）底部与滑动槽（A2）内层活动连接，所述防滑球（A4）底面与底板（A1）顶面嵌固连接；

所述夹头（A3）包括滑动头（A31）、托块（A32）、侧顶柱（A33）、贴合块（A34），所述滑动头（A31）顶面与托块（A32）底面焊接连接，所述托块（A32）顶面通过侧顶柱（A33）与贴合块（A34）底面连接；

所述贴合块（A34）包括安装框（B1）、支撑柱（B2）、受力板（B3）、贴合结构（B4），所述安装框（B1）内层通过支撑柱（B2）与贴合结构（B4）左侧连接，所述受力板（B3）顶面与安装框（B1）底面嵌固连接；

所述贴合结构（B4）包括外推板（B41）、外圈壳（B42）、外弹柄（B43）、固定轴（B44）、贴合板（B45），所述外推板（B41）顶端通过外圈壳（B42）与贴合板（B45）左侧活动卡合，所述外圈壳（B42）内环通过外弹柄（B43）与固定轴（B44）外环嵌固连接；

所述贴合板（B45）包括变形板（C1）、内陷槽（C2）、压柱（C3）、压轮（C4），所述变形板（C1）底面与内陷槽（C2）为一体化成型，所述内陷槽（C2）通过压柱（C3）与压轮（C4）内部活动卡合；

所述压轮（C4）包括固定环（C41）、外顶环（C42）、外层壳（C43）、回拉头（C44）、磨平块（C45），所述固定环（C41）外环与外顶环（C42）内环嵌固连接，所述外层壳（C43）正面通过回拉头（C44）与磨平块（C45）内部活动连接。