[发明专利]一种带有多节距叉指式换能器的横向激励的薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.一种声波谐振器，包括：

一单晶压电板，具有正面和背面，所述背面附接到基板的表面，所述压电板的一部分形成隔膜，所述隔膜跨越所述基板中的空腔；

一导体图案，在所述正面上形成，所述导体图案包括一多节距叉指式换能器(IDT)，IDT的交错的指状物设置在所述隔膜上。

2.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述压电板和IDT被配置为使得施加到IDT上的无线电频率信号激发所述隔膜中的剪切声学模式。

3.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，在沿着IDT的长度的任何点上，IDT的节距在IDT的孔上是恒定的。

4.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述IDT指状物的标记在整个IDT上是恒定的。

5.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，沿着所述多节距IDT的长度将所述多节距IDT分为两个或多个部分，每个部分的各个节距与其它部分的节距不同。

6.根据权利要求5所述的声波谐振器，其特征在于，所述两个或多个部分中的每一个的所述多节距IDT的最大节距为p(1+δ)；以及

所述两个或多个部分中的每一个的所述多节距IDT的最小节距为p(1-δ)，

其中p是标称节距，且δ大于0且小于或等于5.0％。

7.根据权利要求6所述的声波谐振器，其特征在于，δ小于或等于1.0％。

8.根据权利要求6所述的声波谐振器，其特征在于，所述多节距IDT分为三个部分，所述三个部分的节距分别为p(1-δ)和p(1+δ)。

9.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述多节距IDT的节距沿着IDT的长度连续变化。

10.根据权利要求8所述的声波谐振器，其特征在于，所述多节距IDT的节距在p(1-δ)和p(1+δ)之间连续变化，其中p是IDT的标称节距，且δ大于0且小于或等于5.0％。

11.根据权利要求10所述的声波谐振器，其特征在于，δ小于或等于1.0％。

12.一种滤波器装置，包括：

一单晶压电板，具有正面和背面，所述背面附接到基板的表面，所述压电板的多个部分形成多个隔膜，所述多个隔膜跨越所述基板中的各个空腔；

一导体图案，在所述正面上形成，所述导体图案包括多个叉指式换能器(IDT)，IDT的交错的指状物设置在所述多个隔膜的相应一个隔膜上，

其中所述多个IDT中的第一IDT是一多节距IDT。

13.根据权利要求12所述的第一滤波器装置，其特征在于，所述压电板和所述多个IDT被配置为使得施加到IDT上的各个无线电频率信号激发所述相应隔膜中的剪切声学模式。

14.根据权利要求12所述的第一滤波器装置，其特征在于，所有所述多个IDT是多节距IDT。

15.根据权利要求12所述的第一滤波器装置，其特征在于，沿着所述第一IDT的长度将所述第一IDT分为两个或多个部分，每个部分的各个节距与其它部分的节距不同。

16.根据权利要求15所述的第一滤波器装置，其特征在于，所述多个部分中的每一个的所述第一IDT的最大节距为p(1+δ)；以及

所述多个部分中的另一个部分的所述第一IDT的最小节距为p(1-δ)，

其中p是标称节距，且δ大于0且小于或等于5.0％。

17.根据权利要求16所述的第一滤波器装置，其特征在于，δ小于或等于1.0％。