[发明专利]一种立式高温氧化、退火炉

权利要求书

1.一种立式高温氧化、退火炉，包括真空密封炉膛，通过炉底法兰(1)与真空密封炉膛连接的炉门室(2)，炉门室(2)底部开口处通过炉门(3)密封，

其特征在于，所述真空密封炉膛是由炉壳(4)、炉盖(5)、炉底法兰(1)、工艺炉管(6)密闭形成的空间，所述工艺炉管(6)通过压紧法兰(7)压装在炉底法兰(1)底面，所述炉壳(4)与炉盖(5)之间、炉壳(4)与炉底法兰(1)之间、炉门室(2)与炉底法兰(1)之间均设有密封圈，所述真空密封炉膛内设有保温层(8)，所述保温层与工艺炉管之间形成加热腔(9)，所述加热腔(9)内设置加热器(10)；

所述工艺炉管(6)与炉底法兰(1)、炉门室(2)、炉门(3)密闭形成工艺腔(11)，用于进行工艺片的工艺过程；

穿过所述保温层(8)和炉壳(4)设置炉壳真空管(12)，用于实现所述真空密封炉膛形成真空状态，和炉壳进气管(13)，用于充入惰性气体至所述真空密封炉膛；

穿过所述炉门室一侧设置工艺腔真空管(14)，用于实现工艺腔形成真空状态，另一侧设置工艺腔进气管(15)，用于充入工艺气体至所述工艺腔，和工艺腔出气管(16)，用于排出工艺过程中产生的气体。

2.根据权利要求1所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，还包括设置在所述真空密封炉膛下端的升降机构(17)和机械手(18)，所述升降机构上设置炉门支撑安装座(19)，用于安装所述炉门并通过所述升降机构带动炉门上下运动，所述机械手用于所述炉门通过所述升降机构移动到工作下限位时取放所述工艺片。

3.根据权利要求2所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，所述炉门支撑安装座(19)与所述炉门(3)之间设置弹性元件(20)，用于所述炉门通过所述升降机构移动到工作上限位时密封所述工艺腔。

4.根据权利要求1所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，所述保温层由炉盖保温层(81)、炉壳保温层(82)、炉底保温层(83)通过阶梯式结合面形成一体，所述炉盖保温层(81)与所述炉盖(5)固结，所述加热器(10)通过穿过所述炉盖和炉盖保温层的加热器电极(21)吊装于加热腔内。

5.根据权利要求4所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，所述加热器电极(21)炉外端套设电极水冷密封套(22)，所述加热器电极(21)与所述电极水冷密封套通过密封圈密封，所述电极水冷密封套(22)与所述炉盖(5)通过密封圈固结，所述加热器电极上端外部还设置接线装置(23)，用于外接电源。

6.根据权利要求1所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，所述工艺腔内由所述炉门承载由下至上依次设有隔热层(24)、隔热屏(25)、承托料盘(26)和片舟(27)，所述工艺片插装在片舟(27)上。

7.根据权利要求6所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，所述隔热层为石英隔热包，所述隔热屏为层状隔热片组件。

8.根据权利要求1所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，所述炉门室圆筒内壁上密封安装内控热偶(28)，所述内控热偶沿工艺炉管内表面一侧垂直延伸至工艺炉管工作区，贯穿所述炉盖和保温层设有外控热偶(29)，所述外控热偶炉外端套设热偶水冷密封座(30)，所述水冷密封座与所述外控热偶通过密封圈密封，所述水冷密封座(30)与所述炉盖(5)通过密封圈固结。

9.根据权利要求1所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，所述工艺腔进气管沿工艺炉管内表面一侧垂直延伸至工艺炉管工作区顶部。

10.根据权利要求1所述的一种立式高温氧化、退火炉，其特征在于，所述惰性气体包括Ar2或N2中的一种。