[发明专利]电子束发生装置及附加部件在审

专利信息
申请号: 202110190507.8 申请日: 2021-02-18
公开(公告)号: CN113284780A 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 泷泽雄次;泷泽忠雄;斋藤建雄 申请(专利权)人: 株式会社普拉兹玛徳科
主分类号: H01J37/065 分类号: H01J37/065;H01J37/063;C23C14/30
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 王程
地址: 日本国东京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电子束 发生 装置 附加 部件
【权利要求书】:

1.一种蒸镀用电子束发生装置,其特征在于,

包括:灯丝,其具有灯丝主体、与所述灯丝主体的一端连接的第一灯丝脚、以及与所述灯丝主体的另一端连接的第二灯丝脚;

第一保持部,其保持所述第一灯丝脚的第一被保持部分;

第二保持部,其保持所述第二灯丝脚的第二被保持部分;

第一包围部,其以非接触的方式包围所述第一灯丝脚中的第一被包围部分,所述第一被包围部分与所述第一被保持部分相比位于所述灯丝主体侧;以及

第二包围部,其以非接触的方式包围所述第二灯丝脚中的第二被包围部分,所述第二被包围部分与所述第二被保持部分相比位于所述灯丝主体侧,

在所述第一灯丝脚中,所述第一被保持部分与所述灯丝主体的一端之间为第一剥出部分,

在所述第二灯丝脚中,所述第二被保持部分与所述灯丝主体的另一端之间为第二剥出部分,

所述第一被包围部分的长度相对于所述第一剥出部分的长度的比例为60%以上,

所述第二被包围部分的长度相对于所述第二剥出部分的长度的比例为60%以上。

2.根据权利要求1所述的蒸镀用电子束发生装置,其特征在于,

所述第一被包围部分的长度相对于所述第一剥出部分的长度的比例为80%以上,

所述第二被包围部分的长度相对于所述第二剥出部分的长度的比例为80%以上。

3.根据权利要求1所述的蒸镀用电子束发生装置,其特征在于,

所述第一包围部具有吸收从所述第一被包围部分辐射的热并且屏蔽从所述第一被包围部分释放的热电子的、筒状的形态,

所述第二包围部具有吸收从所述第二被包围部分辐射的热且屏蔽从所述第二被包围部分释放的热电子的、筒状的形态。

4.根据权利要求3所述的蒸镀用电子束发生装置,其特征在于,

包括:夹持所述第一包围部的第一夹持机构;以及

夹持所述第二包围部的第二夹持机构。

5.根据权利要求1所述的蒸镀用电子束发生装置,其特征在于,

所述第一保持部与所述第一包围部一体化,

所述第二保持部与所述第二包围部一体化。

6.根据权利要求5所述的蒸镀用电子束发生装置,其特征在于,

由所述第一保持部及所述第一包围部构成第一附加部件,

由所述第二保持部及所述第二包围部构成第二附加部件,

所述第一附加部件和所述第二附加部件具有彼此相同的形态。

7.根据权利要求1所述的蒸镀用电子束发生装置,其特征在于,

所述第一保持部及所述第一包围部是具有使所述第一被包围部分穿过的第一空洞的第一构造体,

所述第一构造体吸收从所述第一被包围部分释放的热且屏蔽从所述第一被包围部分释放的热电子,

所述第二保持部及所述第二包围部是具有使所述第二被包围部分穿过的第二空洞的第二构造体,

所述第二构造体吸收从所述第二被包围部分释放的热且屏蔽从所述第二被包围部分释放的热电子。

8.根据权利要求1所述的蒸镀用电子束发生装置,其特征在于,

所述第一灯丝脚具有包含所述所述第一被包围部分的第一直线部分、和经由弯曲部与所述第一直线部分连接的倾斜部分,

所述第二灯丝脚具有包含所述第二被包围部分的第二直线部分,

所述第一包围部延伸至所述弯曲部或其附近,

所述第一包围部的长度与所述第二包围部的长度相同。

9.一种电子束发生装置用的附加部件,其特征在于,

包括包围部,其以非接触的方式包围使电子束发生的灯丝中的灯丝脚,

所述包围部具有向所述灯丝脚的中心轴方向伸长的中空形态,

所述灯丝脚由被保持部分和与被保持部分连接的剥出部分构成,

所述包围部包围在所述剥出部分内与所述被保持部分连接的被包围部分,

所述被包围部分的长度相对于所述剥出部分的长度的比例为60%以上。

10.根据权利要求9所述的附加部件,其特征在于,

包括与所述包围部一体化的底部,

所述底部具有插入所述被保持部分的保持孔。

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