[发明专利]晶圆盒搬运机器人

权利要求书

1.晶圆盒搬运机器人，其特征在于：包括自动导引车、托持装置、设于所述自动导引车上的晶圆盒承载装置以及用于驱动所述托持装置运动的机械臂；

所述托持装置用于托持两相对侧分别凸设有托柄的晶圆盒，所述托持装置包括两个间隔相对设置以分别用于一对一承托两个所述托柄的承托臂和连接于两个所述承托臂之间的连接臂；

所述晶圆盒承载装置包括安装于所述自动导引车上的座体和设于所述座体上的承载平台；所述承载平台上形成有至少一个用于承载所述晶圆盒的容置槽；

所述机械臂的一端与所述座体连接、另一端与所述托持装置连接，以使所述托持装置托持所述晶圆盒至所述容置槽中或从所述容置槽中取出。

2.如权利要求1所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述座体包括竖向延伸部，所述竖向延伸部具有第一侧端和第二侧端，所述第一侧端和所述第二侧端相背设置；

所述第一侧端和所述第二侧端分别凸设有至少一个所述承载平台。

3.如权利要求2所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述第一侧端上沿所述竖向延伸部之高度方向间隔分布有至少两个所述承载平台；

和/或，所述第二侧端上沿所述竖向延伸部之高度方向间隔分布有至少两个所述承载平台。

4.如权利要求3所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：每个所述承载平台上都形成有至少两个沿水平方向分布的所述容置槽。

5.如权利要求4所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述竖向延伸部还包括第三侧端和与所述第三侧端相背设置的第四侧端，所述第三侧端和所述第四侧端都分别与所述第一侧端和所述第二侧端连接，且每个所述承载平台上的所述容置槽沿所述第三侧端至所述第四侧端的方向间隔分布。

6.如权利要求5所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述承载平台还包括至少一个分别用于检测各所述容置槽内是否装载有所述晶圆盒的检测组件；所述容置槽具有用于支撑所述晶圆盒的槽底壁和凸设于所述槽底壁之边缘以用于对所述晶圆盒进行限位的槽侧壁；

所述检测组件包括嵌设于所述槽底壁上以用于探测所述槽底壁上是否支撑有所述晶圆盒的第一探测器和设于所述槽侧壁上以用于探测所述容置槽内是否装载有所述晶圆盒的第二探测器；

且/或，所述承载平台还包括用于识别所述晶圆盒之信息载体的识别装置，所述识别装置嵌设于所述承载平台之远离所述竖向延伸部的端部。

7.如权利要求6所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述第一探测器为微动开关或者压力传感器；所述第二探测器为漫反射式光电传感器或者光耦合器或者超声波传感器；且/或，

所述识别装置为射频读卡器或条形码扫描器或二维码扫描器。

8.如权利要求7所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：每个所述检测组件都包括一个或两个以上的所述第一探测器。

9.如权利要求8所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：每个所述检测组件都包括两个对称分布于所述槽底壁之中心两侧的所述第一探测器。

10.如权利要求9所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述槽侧壁为沿所述槽底壁之边缘环绕设置的环状壁体；或者，

所述槽侧壁包括至少两个沿环绕所述槽底壁之边缘且间隔设置的分段式壁体。

11.如权利要求10所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述槽底壁的边缘包括四个两两呈对角设置的拐角部，每个所述检测组件都包括两个分别靠近于两个呈对角设置之所述拐角部设置的所述第一探测器。

12.如权利要求1至11任一项所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述座体还包括横向延伸部，所述竖向延伸部与所述横向延伸部连接并自所述横向延伸部延伸于所述横向延伸部的上方，所述承载平台设于所述横向延伸部的上方。