[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法以及镀敷造型物的制造方法

权利要求书

1.一种抗蚀剂组合物，其含有：

具有醌二叠氮基磺酰基的化合物(I)、包含具有对酸不稳定的基团的结构单元的树脂(A1)、碱可溶性树脂(A2)及酸产生剂(B)。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂组合物，其中，

具有醌二叠氮基磺酰基的化合物(I)为具有式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团的化合物；

式(a)及式(b)中，＊表示键合端；

式(c)中，＊表示键合端。

3.根据权利要求2所述的抗蚀剂组合物，其中，

具有醌二叠氮基磺酰基的化合物(I)为选自式(II)所示的化合物、式(III)所示的化合物、式(IV)所示的化合物及式(V)所示的化合物中的至少1种；

式(II)中，

R¹¹～R¹⁴各自独立地表示氢原子、羟基、碳原子数1～18的烃基、式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；该碳原子数1～18的烃基中含有的亚甲基任选置换为氧原子、羰基或-NR^d1-；

R^d1表示氢原子或碳原子数1～6的烷基；

R¹⁵～R³⁰各自独立地表示氢原子、羟基、式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；

R¹¹～R³⁰中的至少1个为式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；

式(III)中，

R³¹～R³⁹各自独立地表示氢原子、羟基、碳原子数1～6的烷基、式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；R³¹～R³⁹中的至少1个为式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；

P¹～P⁵各自独立地表示氢原子、碳原子数1～18的烃基，该碳原子数1～18的烃基中含有的亚甲基任选置换为氧原子、羰基或-NR^d2-，P¹及P²任选相互键合并与它们所键合的2个碳原子一起形成环；P⁴及P⁵任选相互键合并与它们所键合的碳原子一起形成环；

R^d2表示氢原子或碳原子数1～6的烷基；

式(IV)中，

R⁴⁰～R⁵³各自独立地表示氢原子、羟基、碳原子数1～6的烷基、式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；R⁴⁰～R⁵³中的至少1个为式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；

n^a表示1～5的任选的整数；在n^a为2以上的任选的整数的情况下，多个R⁴⁹～R⁵²任选彼此相同或不同；

式(V)中，

R^f1、R^f2及R^g1～R^g8各自独立地表示氢原子、羟基、碳原子数1～6的烷基、式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；R^f1、R^f2及R^g1～R^g8中的至少1个为式(a)所示的基团、式(b)所示的基团或式(c)所示的基团；

P⁶表示1价的碳原子数6～12的芳香族烃基或2价的碳原子数6～12的芳香族烃基；该芳香族烃基任选由选自羟基及碳原子数1～6的烷基中的至少1种取代；

P⁷表示氢原子、任选具有取代基的碳原子数1～18的烃基，该碳原子数1～18的烃基中含有的亚甲基任选置换为氧原子、羰基或-NR^d3-；P⁶及P⁷任选相互键合而形成环；

n^v表示1或2；

R^d3表示氢原子或碳原子数1～6的烷基。