[发明专利]一种基于调度环境和任务的半导体生产线调度方法

说明书

本发明公开了一种基于调度环境和任务的半导体生产线调度方法，包括：基于调度环境和任务对半导体生产线进行调度分类；对调度分类后的半导体生产线进行实时调度。本发明的有益效果在于对生产线工况产生了积极的影响，缩短了每种设备的排队队长，每卡工件的等待时间，进而从全局提高了整个生产线的运行效率。

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种基于调度环境和任务的半导体生产线调度方法。

背景技术

半导体生产线是一种加工设备繁多、工艺流程极为复杂的典型复杂制造系统。同一生产线上同时在加工的产品类型通常多达十几种，这使得在制品对在线设备的使用权竞争愈加激烈；半导体生产线的调度方案和派工策略将极大影响当前生产线工况，调度策略的优劣将直接影响每种设备的排队队长，每卡工件的等待时间，进而从全局影响整个生产线的运行效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种基于调度环境和任务的半导体生产线调度方法，对生产线工况产生了积极的影响，缩短了每种设备的排队队长，每卡工件的等待时间，进而从全局提高了整个生产线的运行效率。

本发明为实现上述发明目的采用如下技术方案：

本发明提供了一种基于调度环境和任务的半导体生产线调度方法，包括：

基于调度环境和任务对半导体生产线进行动态调度分类；

对动态调度分类后的半导体生产线进行实时调度。

进一步地，基于调度环境和任务对半导体生产线进行调度分类包括：

按照制造系统的实时状态及加工任务信息，为空闲设备确定加工任务，进行实时调度；

或在静态调度的基础上，根据制造系统的现场状态及加工任务信息，及时对静态调度进行调整，产生新的调度。

进一步地，所述静态调度是在制造系统状态和加工任务确定的前提下，形成优化的调度方案的过程。

进一步地，所述静态调度是在制造系统状态和加工任务确定的前提下，形成优化的调度方案的过程的方法具体包括：

所述静态调度以某一时刻的制造系统状态、确定的工件信息及时间长度为输入，采用适当的调度算法，在满足约束条件及优化目标的情况下，生成调度周期内的调度方案。

进一步地，所述静态调度的约束条件包括下述至少一种：

工件的评价加工周期、交货期、制造系统的性能指标。

进一步地，所述优化目标包括下述至少一种：

工件的评价加工周期、交货期、制造系统的性能指标。

进一步地，对调度分类后的半导体生产线进行实时调度的方法包括下述至少一种：

基于运筹学的方法、基于一步式启发式规则的方法、基于人工智能、计算智能和群体智能的方法。

进一步地，基于运筹学的方法是将生产调度问题转化为数学规划模型，采用基于枚举思想的分支定界法或动态规划算法求解调度问题的最优解或近似最优解。

进一步地，基于一步式启发式规则的方法包括：

启发式规则是指选取工件的某个或者某些属性作为工件的优先级，按照优先级高低选择工件进行加工的方法；

根据调度目标的不同，半导体制造过程启发式规则分为基于交货期的规则、基于加工周期的规则、基于工件等待时间的规则、基于工件使用程序是否相同的规则、基于负载平衡的规则。

进一步地，基于人工智能、计算智能和群体智能的方法包括：