[发明专利]一种自发形成图灵微纳结构的钙钛矿薄膜的制备方法在审
申请号: | 202110188300.7 | 申请日: | 2021-02-19 |
公开(公告)号: | CN113161491A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 秦天石;王芳芳;刘有;黄维 | 申请(专利权)人: | 南京工业大学;南京晟印光能有限公司 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自发 形成 图灵微纳 结构 钙钛矿 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种自发形成图灵微纳结构的钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,所述方法包括:
(1)在基底表面涂覆电子传输层材料或空穴传输层材料,得到电子传输层或空穴传输层;
(2)于步骤(1)得到的电子传输层或空穴传输层表面涂覆ABX3钙钛矿溶液,并进行退火处理,得到钙钛矿薄膜;
(3)将步骤(2)得到的钙钛矿薄膜浸泡于AX饱和溶液中,浸泡后洗涤并退火得到所述透明钙钛矿薄膜;其中,A包括Cs+、CH3NH3+或NH2CH=NH2+中的任意一种或至少两种的组合,B包括Pb2+、Sn2+或Ge2+中的任意一种或至少两种的组合,X包括I-、Br-、Cl-或F-中的任意一种或至少两种的组合。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述基底包括玻璃基底、FTO玻璃基底、ITO玻璃基底、PEN基底或PET基底中的任意一种。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述电子传输层材料包括致密氧化钛、介孔氧化钛、氧化锡、氧化锌或富勒烯及衍生物中的任意一种或至少两种的组合;
优选地,步骤(1)所述空穴传输层材料包括括苯胺类空穴传输层材料、咔唑类空穴传输层材料、酞菁类空穴传输层材料、吩噻嗪类空穴传输层材料、吩噁嗪类空穴传输层材料或噻吩类空穴传输层材料中的任意一种或至少两种的组合。
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述电子传输层的厚度为250nm优选地,步骤(1)所述空穴传输层的厚度为50nm
优选地,对步骤(1)所述电子传输层或空穴传输层分别独立地进行退火处理;
优选地,所述退火处理的温度为电子传输层450~500℃,时间为30~60min;空穴传输层80-120℃,时间为5-15min。
5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述退火处理的温度为80~120℃;
优选地,步骤(2)所述退火处理的时间为5~15min。
6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述钙钛矿溶液的浓度为1~1.2mol/L优选地,步骤(2)所述钙钛矿薄膜的厚度为350nm 。
7.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(3)所述AX饱和溶液的溶剂包括乙醇、异丙醇或正丙醇中的任意一种或至少两种的组合;
优选地,步骤(3)洗涤所使用的溶剂包括乙醇、异丙醇或正丙醇中的任意一种或至少两种的组合。
8.根据权利要求1-7任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(3)所述浸泡的时间根据钙钛矿薄膜的透明度进行控制;
优选地,步骤(3)所述退火的温度为50~80℃;
优选地,步骤(3)所述退火的时间为5~15min。
9.根据权利要求1-8任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述涂覆以及步骤(2)所述涂覆的方法分别独立地为旋涂。
10.根据权利要求1-9任一项所述的制备方法,其特征在于,所述方法包括:
(1)在基底表面旋涂电子传输层材料或空穴传输层材料,得到电子传输层或空穴传输层;
(2)于步骤(1)得到的电子传输层或空穴传输层表面旋涂ABX3钙钛矿材料,并80~120℃下进行退火处理5~15min,得到钙钛矿薄膜;
(3)将步骤(2)得到的钙钛矿薄膜浸泡于AX饱和溶液中,浸泡后洗涤并50~80℃下退火5~15min得到所述透明钙钛矿薄膜;
其中,A包括Cs+、CH3NH3+或NH2CH=NH2+中的任意一种或至少两种的组合,B包括Pb2+、Sn2+或Ge2+中的任意一种或至少两种的组合,X包括I-、Br-、Cl-或F-中的任意一种或至少两种的组合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择