[发明专利]一种超高真空条件下样品转移装置

权利要求书

1.一种真空样品转移装置，其特征在于，包括：

腔体状的主体，所述主体包括第一通孔部和第二通孔部；

样品台，所述样品台被布置在所述主体的内部；所述样品台包括至少两个样品槽，所述至少两个样品槽用于容纳相同或不同的样品架；

真空阀门，所述真空阀门用于通过所述第一通孔部将所述主体与外部真空装置气密地连通；

操作装置，所述操作装置通过所述第二通孔部气密地连接到所述主体，其中，所述操作装置用于对所述外部真空装置的样品架及其中的样品进行操作；以及

连接到主体的真空泵，其用于对所述主体内部抽真空。

2.根据权利要求1所述的真空样品转移装置，其特征在于，所述样品台通过转轴支架可旋转地布置。

3.根据权利要求1所述的真空样品转移装置，其特征在于，所述操作装置包括至少一个夹取装置，所述夹取装置能够夹取所述样品，并在所述主体内部移动。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述至少一个夹取装置包括三个夹取装置，所述三个夹取装置各自的纵向轴不共面地指向所述样品台，从而能够从不同角度接近所述样品台。

5.根据权利要求2所述的真空样品转移装置，其特征在于，所述样品架通过螺钉固定所述样品，所述操作装置包括至少一个拧转装置，用于拧转所述螺钉或所述样品台。

6.根据权利要求5所述的真空样品转移装置，其特征在于，所述至少一个拧转装置包括两个拧转装置，其中所述两个拧转装置的纵向轴相对呈80至100度的夹角。

7.根据权利要求1或2所述的真空样品转移装置，其特征在于，还包括具有纵向轴的位移台，所述位移台包括沿所述纵向轴的柔性管壁以及所述柔性管壁内侧的可动平台部；其中

所述柔性管壁与所述主体气密地连接，从而将所述可动平台部连通到所述主体内；以及

所述可动平台部连接到所述样品台，从而控制所述样品台具有四个移动自由度，所述四个自由度包括在垂直于所述位移台的纵向轴的平面内相互垂直的两个平动自由度、沿着所述位移台的纵向轴的平动自由度和以所述位移台的纵向轴为法线方向的旋转自由度。

8.根据权利要求1所述的真空样品转移装置，其特征在于，所述拧转装置包括：

杆体，所述杆体包括:

延伸的管壁，所述管壁具有第一端部和第二端部，其中所述管壁的第一端部被密封；

套嵌在所述管壁内部的内杆，所述内杆能够相对于所述管壁沿着其轴向移动，以及所述内杆在所述第一端部附近包括磁性部；

握持部，所述握持部靠近所述磁性部布置在所述管壁的外侧并能够相对其旋转，其中所述握持部与所述磁性部磁性耦合，从而使所述内杆跟随所述握持部沿所述轴向旋转；

拧转部，所述拧转部在所述管壁的第二端部连接到所述内杆。

9.一种用于真空样品转移装置的夹取装置，其特征在于，所述夹取装置包括：

具有纵向轴向的管壁，其中所述管壁的一端被密封；

布置在所述管壁内侧且能够沿着所述轴向移动的第一可动部，其包括第一磁性部；

布置在所述管壁内侧且能够沿着所述轴向移动的第二可动部，其包括第二磁性部；

第一握持部和第二握持部，其分别贴合于所述管壁的外侧且具有磁性；其中所述套管部的第一磁性部与所述内杆的第二磁性部间隔布置，使得所述第一握持部只与所述第一磁性部磁性耦合，以及

所述第二握持部只与所述第二磁性部磁性耦合；

连接到所述第二可动部的弹性部，其能够向外侧展开；

其中，所述第一可动部被设置为能够从外侧限制所述弹性部的展开；以及

所述第一握持部和所述第二握持部能够操纵所述第一可动部和所述第二可动部从所述管壁未被密封的一端向外移动，从而当所述第一可动部相对于所述第二可动部移动到第一位置时，所述弹性部展开，以及当所述第一可动部相对于所述第二可动部移动到第二位置时，所述弹性部收合。