[发明专利]显示面板及其制作方法有效
| 申请号： | 202110183961.0 | 申请日： | 2021-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN112928157B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张伟彬 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种显示面板，其特征在于，包括薄膜晶体管以及电源线；
其中，所述薄膜晶体管包括第一栅极层、位于所述第一栅极层上的有源层以及位于所述有源层上的第二栅极层；
第一电极层，所述第一电极层位于所述第一栅极层上，所述第一栅极层与所述第一电极层具有第一重叠部分；
位于所述有源层上的源漏极层，所述源漏极层包括源极以及漏极，所述源极或所述漏极位于所述第一电极层与所述第二栅极层之间，所述电源线位于所述第一电极层远离所述源漏极层的一侧；
所述电源线与所述源漏极层同层，所述电源线包括与所述第一电极层相对设置的第三部分，所述第三部分与所述第一电极层形成第一电容；
所述电源线连接于所述第一栅极层以使所述第一栅极层具有第一电势，所述有源层在所述第一栅极层上的正投影位于所述第一栅极层的边界范围内。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一栅极层包括与所述有源层重叠的第一部分以及连接于所述第一部分的第二部分，所述第二部分与所述第一电极层具有所述第一重叠部分。
3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述有源层包括沟道部以及位于所述沟道部两侧的导体部，所述第一部分与所述沟道部重叠。
4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一电极层与所述第二栅极层同层并相互连接。
5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括位于所述第一栅极层与所述有源层之间的缓冲层，所述缓冲层在所述第一栅极层上的正投影位于所述有源层在所述第一栅极层上的正投影内。
6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述缓冲层包括第一子缓冲层和/或第二子缓冲层，所述第一子缓冲层和/或所述第二子缓冲层的材料包括氮硅化合物、氧硅化合物中的至少一种。
7.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
在衬底上形成第一栅极层；
在所述第一栅极层上形成缓冲层以及有源层；
在所述有源层上形成第二栅极层以及第一电极层；
在所述第二栅极层以及所述第一电极层上形成源漏极层以及电源线；
其中，所述电源线连接于所述第一栅极层以使所述第一栅极层具有第一电势，所述有源层在所述第一栅极层上的正投影位于所述第一栅极层的边界范围内；
所述第一栅极层与所述第一电极层具有第一重叠部分；
所述源漏极层包括源极以及漏极，所述源极或所述漏极位于所述第一电极层与所述第二栅极层之间，所述电源线位于所述第一电极层远离所述源漏极层的一侧；
所述电源线与所述源漏极层同层，所述电源线包括与所述第一电极层相对设置的第三部分，所述第三部分与所述第一电极层形成第一电容。
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