[发明专利]光学频率测量装置

权利要求书

1.一种用于在频率测量装置中使用的组件，所述组件包括：

分束器，所述分束器被配置为将输入光束分成至少三个光束；

具有至少三个区域的标准具，所述标准具定位成使得每个光束穿过不同的区域，

其中每个区域具有不同的路径长度，使得：

每个区域具有类似于其他区域的自由光谱范围的自由光谱范围，并且

每个区域具有透射峰，所述透射峰与所述其他区域的透射峰以相位差分离开；

检测器，所述检测器被配置为针对所述光束测量所述标准具的输出强度Tn；以及

控制器，所述控制器被配置为确定所述输出强度的比率Ta/Tb，其中所述比率在所述输出强度下具有斜率，所述斜率在阈值以上。

2.根据权利要求1所述的组件，其中，所述标准具是固体标准具，并且在至少一个表面上具有台阶式轮廓以给出不同的路径长度。

3.根据权利要求1所述的组件，其中，所述标准具由单个元件形成。

4.根据权利要求1所述的组件，其中，所述标准具由主体和附接到所述主体的多个不同厚度的叠层件形成，每个叠层件跨单个区域。

5.根据权利要求1所述的组件，其中，所述标准具由主体和多个叠层件形成，每个叠层件跨至少一个区域并且附接到所述主体或所述叠层件中的另一叠层件。

6.根据权利要求1所述的组件，其中，所述标准具是空气间隙型标准具，所述空气间隙型标准具包括其间具有空气间隙的两个本体。

7.根据权利要求6所述的组件，其中，所述两个本体中的每一个本体具有反射表面，并且所述反射表面中的至少一个反射表面具有台阶式轮廓以给出不同的路径长度。

8.根据权利要求6所述的组件，其中，所述两个本体中的每一个本体由单个元件形成。

9.根据权利要求6所述的组件，其中，所述两个本体中的至少一个本体由主体和附接到所述主体的多个不同厚度的叠层件形成，每个叠层件跨单个区域。

10.根据权利要求6所述的组件，其中，所述本体中的至少一个本体由主体和多个叠层件形成，每个叠层件跨至少一个区域并且附接到所述主体或所述叠层件中的另一叠层件。

11.根据权利要求1所述的组件，其中，每个区域的透射峰在所述自由光谱范围内均匀分离开。

12.根据权利要求1所述的组件，其中，Ta/Tb是在所述输出强度下全部比率中具有最大斜率的比率。

13.根据权利要求1所述的组件，其中，所述组件被配置成使得每个输入光束以不同的角度穿过所述标准具。

14.根据权利要求1所述的组件，其中，所述标准具是包括多个标准具本体的子组件，每个标准具本体包括所述区域中的一个或多个。

15.一种光学锁定器，包括：

组件，所述组件包括：

分束器，所述分束器被配置为将输入光束分成至少三个光束；

具有至少三个区域的标准具，所述标准具定位成使得每个光束穿过不同的区域；

检测器，所述检测器被配置为针对所述光束测量所述标准具的输出强度Tn；以及

控制器，所述控制器被配置为：

确定所述输出强度的比率Ta/Tb，其中所述比率在所述输出强度下具有斜率，所述斜率在阈值以上；

获得所述输入光束的目标频率；以及

基于所述目标频率和所述输出强度的比率确定所述输入光束的实际频率。

16.根据权利要求15所述的光学锁定器，其中，所述组件还包括激光器。