[发明专利]一种电化学沉积设备

权利要求书

1.一种电化学沉积设备，其特征在于，包括：

机架(1)；

旋转上下料机构(5)，包括承载框(51)、承载板架(52)和驱动组件(53)，所述承载板架(52)设置于所述承载框(51)内，待沉积的玻璃(10)可拆卸固定于所述承载板架(52)上，所述驱动组件(53)与所述承载框(51)传动连接，用于驱动所述承载框(51)旋转以使所述承载板架(52)转动至预设位置；

抓取机构(6)，可移动地设于所述机架(1)上，用于抓取和搬运所述承载板架(52)；

化学沉积槽(7)，设于所述机架(1)上，所述化学沉积槽(7)内盛放有化学药剂，所述承载板架(52)能被所述抓取机构(6)抓取放置于所述化学沉积槽(7)内。

2.根据权利要求1所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述机架(1)设为上下两层，所述化学沉积槽(7)设于所述机架(1)的下层，所述抓取机构(6)可移动地设置于所述机架(1)的上层。

3.根据权利要求2所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述电化学沉积设备还包括维修机构(2)，所述维修机构(2)包括扶梯(21)和维护塔台(22)，所述扶梯(21)与所述机架(1)固定连接，所述维护塔台(22)设于所述机架(1)的上层，所述扶梯(21)与所述维护塔台(22)连接。

4.根据权利要求3所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述机架(1)的下层设有电柜箱(3)和检修门(4)，所述电柜箱(3)与所述旋转上下料机构(5)、所述抓取机构(6)和所述化学沉积槽(7)均电连接，所述电柜箱(3)设有多个，分别设于所述检修门(4)的两侧。

5.根据权利要求4所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述机架(1)的上层设有第一透明区域(11)，所述第一透明区域(11)与所述维护塔台(22)对应设置；所述机架(1)的下层设有第二透明区域(12)，所述第二透明区域(12)与所述化学沉积槽(7)对应设置。

6.根据权利要求1所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述承载板架(52)的两侧各可拆卸固定有一块待沉积的所述玻璃(10)。

7.根据权利要求1所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述电化学沉积设备还包括周边配套设备(8)，所述周边配套设备(8)间隔设于所述机架(1)的后方，所述周边配套设备(8)包括药剂盛放罐、泵体和输送管，所述药剂盛放罐与所述输送管连接，所述泵体用于将所述药剂盛放罐内的所述化学药剂泵送至所述输送管，所述输送管与所述化学沉积槽(7)连接。

8.根据权利要求1所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述电化学沉积设备还包括水洗槽(9)和烘干槽(20)，沿所述玻璃(10)的搬动方向，所述水洗槽(9)和所述烘干槽(20)依次设于所述化学沉积槽(7)的下游，所述水洗槽(9)用于对电化学沉积后的所述玻璃(10)进行水洗，所述烘干槽(20)用于对水洗后的所述玻璃(10)进行烘干。

9.根据权利要求1所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述抓取机构(6)包括：

抓取组件(61)，能够抓取所述承载板架(52)；

y向移动组件(62)，与所述抓取组件(61)传动连接，能够驱动所述抓取组件(61)沿y向移动；

x向移动组件(63)，与所述y向移动组件(62)传动连接，能够驱动所述y向移动组件(62)沿x向移动。

10.根据权利要求1所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述驱动组件(53)包括驱动电机(532)和固定支撑件(531)，所述驱动电机(532)和所述固定支撑件(531)固定连接，所述固定支撑件(531)与所述承载框(51)可转动连接，且所述承载框(51)能被所述驱动电机(532)驱动转动。