[发明专利]三维阵列式X射线探测器、X射线探测单元及其制备方法在审
| 申请号: | 202110178399.2 | 申请日: | 2021-02-09 | 
| 公开(公告)号: | CN112987074A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 | 
| 发明(设计)人: | 侯玉欣;陈明;杨春雷;胡明珠;张杰;宁德 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 
| 主分类号: | G01T1/24 | 分类号: | G01T1/24 | 
| 代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;刘燚圣 | 
| 地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 三维 阵列 射线 探测器 探测 单元 及其 制备 方法 | ||
1.一种X射线探测单元,其特征在于,所述X射线探测单元包括同轴电极线(10)和至少两个探测段体(20),各个所述探测段体(20)同轴且间隔排列,所述同轴电极线(10)沿轴向方向穿过各个所述探测段体(20)以将各个所述探测段体(20)串联,所述探测段体(20)用于在X射线辐照下产生电信号,并将电信号分别通过所述探测段体(20)的内表面传导至所述同轴电极线(10)以及通过所述探测段体(20)的外表面传导至外界。
2.根据权利要求1所述的X射线探测单元,其特征在于,所述探测段体(20)包括依次远离同轴电极线(10)的光电转换层(21)、空穴传输层(22)和导电涂层(23),所述光电转换层(21)包覆于所述同轴电极线(10)的外表面,所述空穴传输层(22)包覆于所述光电转换层(21)的外表面,导电涂层(23)包覆于所述空穴传输层(22)的外表面。
3.根据权利要求2所述的X射线探测单元,其特征在于,所述同轴电极线(10)包括导电纤维线(11)、包覆于所述导电纤维线(11)的外围的致密层(12)以及包覆于所述致密层(12)的外围的介孔层(13),所述光电转换层(21)包覆于所述介孔层(13)的外围。
4.根据权利要求1所述的X射线探测单元,其特征在于,所述光电转换层(21)的材料为钙钛矿材料。
5.一种X射线探测单元的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
制备同轴电极线(10);
在同轴电极线(10)的外表面制作形成探测层;
沿径向方向在不同位置上对所述探测层进行截断,形成至少两个探测段体(20),其中
各个所述探测段体(20)同轴且间隔排列,所述同轴电极线(10)沿轴向方向穿过各个所述探测段体(20)以将各个所述探测段体(20)串联,所述探测段体(20)用于在X射线辐照下产生电信号,并将电信号分别通过所述探测段体(20)的内表面传导至所述同轴电极线(10)以及通过所述探测段体(20)的外表面传导至外界。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述制备同轴电极线(10)的方法包括:
在导电纤维线(11)的外表面上制作形成致密层(12);
在所述致密层(12)的外表面上制作形成介孔层(13),所述导电纤维线(11)、所述致密层(12)和所述介孔层(13)构成所述同轴电极线(10)。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,在同轴电极线(10)的外表面制作形成探测层的方法包括:
在介孔层(13)外表面制作形成光电转换层(21);
在所述光电转换层(21)的外表面制作形成空穴传输层(22);
在所述空穴传输层(22)制作形成导电涂层(23)。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述沿径向方向在不同位置上对所述探测层进行截断,形成至少两个探测段体(20)的方法包括:
沿着径向方向在依次刻蚀所述导电涂层(23)、所述空穴传输层(22)和导电涂层(23),直至暴露出所述同轴电极线(10),形成至少两个探测段体(20)。
9.一种三维阵列式X射线探测器,其特征在于,包括:
探测器阵列,包括若干如权利要求1至3任一项所述的X射线探测单元或者若干由权利要求4至7任一项所述的制备方法制作得到的X射线探测单元,各个X射线探测单元并排设置,径向方向上相邻的X射线探测单元的探测段体(20)的外表面相互贴合且电导通,形成至少两个探测区块,各个所述探测区块沿着轴向方向上间隔分布;
若干集流电极线,所述集流电极线捆绑于所述探测区块的外侧,以将所述探测区块中各个探测段体(20)产生的电信号导出至外界。
10.根据权利要求9所述的三维阵列式X射线探测器,其特征在于,探测器阵列包括M排探测单元面,每一排探测单元面包括N根X射线探测单元,径向相邻两根X射线探测单元的探测段体(20)通过导电环氧树脂胶进行连接,M与N均为大于或等于2的正整数。
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