[发明专利]一种Mini LED晶圆外观缺陷检测系统及方法

权利要求书

1.一种Mini LED晶圆外观缺陷光学检测系统，其特征在于：包括2/3inch以上靶面、1000万像素以上分辨率的相机（1）、2倍以上倍率、0.08以上数值孔径的镜头（2）、光源、位移载物台、计算机图像处理系统（4）；所述相机和镜头配合，所述镜头设置于相机下方，检测时所述位移载物台设置于镜头正下方。

2.根据权利要求1所述的一种Mini LED晶圆外观缺陷光学检测系统，其特征在于：所述镜头能够将Mini LED表面上0.5μm-200μm的缺陷的清晰成像，有效分辨筛选出有外观缺陷的产品。

3.根据权利要求1所述的一种Mini LED晶圆外观缺陷光学检测系统，其特征在于：所述Mini LED晶圆外观缺陷光学检测系统的分辨率可小于1μm。

4.根据权利要求1所述的一种Mini LED晶圆外观缺陷光学检测系统，其特征在于：所述光源为频闪或常亮光源。

5.一种Mini LED晶圆外观缺陷光学检测方法，使用权利要求1-4中任一项所述的检测系统，其特征在于：所述计算机图像处理系统接收所述相机和镜头的检测数据，所述光学检测系统采用机器视觉方式代替人工目检对缺陷自动判定及分类，可实现大批量自动化测量。

6.根据权利要求6所述的Mini LED晶圆外观缺陷光学检测方法，其特征在于：检测时将Mini LED晶圆置于位移载物台上。

7.根据权利要求6所述的Mini LED晶圆外观缺陷光学检测方法，其特征在于：所述MiniLED晶圆外观缺陷光学检测方法的分辨率可小于1μm。