[发明专利]一种硅晶棒取料系统有效
申请号: | 202110167346.0 | 申请日: | 2021-02-07 |
公开(公告)号: | CN112978354B | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 新一代半导体研究所(深圳)有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90;B65G47/26;B65G47/22;B65G47/82 |
代理公司: | 深圳市国亨知识产权代理事务所(普通合伙) 44733 | 代理人: | 李夏宏 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅晶棒取料 系统 | ||
本发明涉及一种硅晶棒取料系统,包括工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置,所述的盛料装置包括矩形空心架、盛料板、一号电动推杆、第一推板、水平板、二号电动推杆、第二推板和隔离架,本发明通过设置的工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置的配合,首先将需要进行取料的硅晶棒放置到盛料装置中,盛料装置可以根据不同的直径对硅晶棒进行有序排列,从而提高了机械的适用性,此时在通过设置的支撑装置对不同长度的硅晶棒进行限位,使得硅晶棒位于取料装置的正中心位置,最后通过取料装置将硅晶棒进行取料,设置的取料装置使得再对硅晶棒进行取料时不会发生倾斜现象。
技术领域
本发明涉及硅晶棒取料领域,具体的说是一种硅晶棒取料系统。
背景技术
硅晶(英文Monocrysta line silicon),是硅的晶体,包括多晶硅和单晶硅,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。单晶硅具有基本完整的点阵结构的晶体,多晶硅,是单质硅的一种形态。单晶硅具有金刚石晶格,晶体硬而脆,具有金属光泽,能导电,但导电率不及金属,且随着温度升高而增加,具有半导体性质,单晶硅是重要的半导体材料。多晶硅可作拉制单晶硅的原料,具有较大的化学活泼性,能与几乎任何材料作用。具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料,但微量的杂质即可大大影响其导电性,硅晶可以制作成硅晶棒。
在对硅晶棒进行取料的过程中,由于硅晶棒的结构限制,导致在实际操作过程中,存在以下问题:
1传统的硅晶棒在进行取料的过程中,不能够根据硅晶棒的直径不同和长度不同进行取料,从而大大降低了机械在取料时的适用性。
2传统的硅晶棒在进行取料的过程中,由于硅晶棒长度的不同,无法保证在抓取时是硅晶棒的正中心位置,导致在对硅晶棒进行取料时会发生倾斜现象,从而影响下一步对硅晶棒的加工。
发明内容
为了弥补现有技术的不足,本发明提供了一种硅晶棒取料系统。
本发明所要解决其技术问题所采用以下技术方案来实现:一种硅晶棒取料系统,包括工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置,所述的工作台的顶部由左至右依次设置有盛料装置、支撑装置和取料装置;
所述的盛料装置包括矩形空心架、盛料板、一号电动推杆、第一推板、水平板、二号电动推杆、第二推板和隔离架,所述的工作台顶部左侧固定安装有矩形空心架,所述的矩形空心架的内壁下端固定安装有盛料板,所述的盛料板为倾斜状,且矩形空心架的左侧内壁且位于盛料板的上方开设有固定槽,固定槽内固定安装有一号电动推杆,一号电动推杆的移动端固定安装有第一推板,第一推板的底部和盛料板的顶部相接触,矩形空心架的右侧内壁且位于盛料板的上方开设有一号矩形通槽,且所述的矩形空心架的内壁且位于盛料板的正上方固定安装有水平板,水平板的左侧顶部由前至后开设有二号矩形通槽,矩形空心架的右侧内壁且位于水平板的上方开设有移动槽,移动槽内固定安装有二号电动推杆,二号电动推杆的移动端固定安装有第二推板,所述的矩形空心架的左端内壁且位于水平板的上方设置有隔离架;
所述的支撑装置包括支座、一号弧形凹槽、挡板、滑移槽、滑动块、限位板、垂直立板和伸缩支架杆,所述的工作台的顶部且位于矩形空心架的右侧固定安装有支座,支座的顶部由前至后开设有一号弧形凹槽,所述的支座的左右两端固定安装有挡板,挡板的高度和一号矩形通槽的底部相平齐,且左侧的挡板和矩形空心架相接触,两组挡板的顶部前后对称开设有滑移槽,滑移槽内安装有滑动块,两组滑动块之间通过限位板相连接,所述的工作台的顶部且位于支座的前后两侧对称固定安装有垂直立板,两组垂直立板的相对面开设有限位槽,限位槽内安装有伸缩支架杆,伸缩支架杆的移动端和限位板的一端固定连接;
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