[发明专利]一种原位谱学表征系统

权利要求书

1.一种原位谱学表征系统，其特征在于，包括第一样品处理室、样品分析室和可移动的样品承载台，所述第一样品处理室和所述样品分析室之间设置有第一管道，所述样品承载台通过所述第一管道在所述第一样品处理室和所述样品分析室之间进行样品传送；其中，所述第一样品处理室包括第一抽真空装置，所述第一抽真空装置用于抽除所述第一样品处理室内的气体，使得在所述第一样品处理室内被处理的样品在真空环境下进行传送；

其中，所述原位谱学表征系统还包括第二样品处理室，所述第二样品处理室与所述第一样品处理室之间设置有第二管道，所述样品承载台还可以通过所述第二管道在所述第一样品处理室和所述第二样品处理室之间进行样品传送；其中，所述第二样品处理室包括第二抽真空装置，所述第二抽真空装置用于抽除所述第二样品处理室内的气体，使得在所述第二样品处理室内被处理的样品在真空环境下进行传送；

其中，所述第二样品处理室与所述样品分析室之间设置有第三管道，所述样品承载台还可以通过所述第三管道在所述第二样品处理室与所述样品分析室之间进行样品传送；

其中，所述第一管道、所述第二管道和所述第三管道上分别设置有插板阀门；

其中，所述样品承载台由磁性材料制成，所述第一管道、所述第二管道和所述第三管道的外侧设置有用于移动所述样品承载台的磁力杆。

2.根据权利要求1所述的原位谱学表征系统，其特征在于，所述第二样品处理室内包括相互连接的气氛腔和送样腔，所述气氛腔用于提供气氛处理环境，所述送样腔通过所述第二管道与所述第一样品处理室连接，所述第二抽真空装置与所述送样腔连接且能够抽除所述送样腔内的气体；其中，样品在所述气氛腔中被处理后，通过所述样品承载台传送至所述送样腔内。

3.根据权利要求2所述的原位谱学表征系统，其特征在于，所述气氛腔内填充有惰性气体。

4.根据权利要求1至3任一所述的原位谱学表征系统，其特征在于，所述第一样品处理室内部设置有耐腐蚀涂层，所述第一抽真空装置由耐腐蚀材料制成。

5.根据权利要求4所述的原位谱学表征系统，其特征在于，所述第一样品处理室内还设有加热装置，所述加热装置用于加热所述样品承载台。