[发明专利]一种望远镜结构及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202110161667.X 申请日: 2021-02-05
公开(公告)号: CN114879355A 公开(公告)日: 2022-08-09
发明(设计)人: 蒋春萍;杨帆;张兴良 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;清华大学
主分类号: G02B23/00 分类号: G02B23/00;G02B1/00
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 望远镜 结构 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种望远镜结构,其特征在于,包括透明基底,所述透明基底包括彼此相对的第一表面和第二表面,所述第一表面上直接设置有具有正屈光力的物镜超构透镜,所述第二表面上直接设置有具有正屈光力的目镜超构透镜,所述物镜超构透镜和所述目镜超构透镜分别包括周期性排布的超构表面阵列;其中,所述物镜超构透镜的位于面向所述目镜超构透镜侧的焦点与所述目镜超构透镜的位于面向所述物镜超构透镜侧的焦点在所述透明基底内部相互重叠。

2.根据权利要求1所述的望远镜结构,其特征在于,所述超构表面阵列包括多个微结构单元,所述微结构单元由Au、Ag、Al中的至少一种,或者TiN和ZrN中的至少一种,或者AlTiN、AlZrN、TiZrN、TiMgN、TiCaN中的至少一种,或者SiO2、Ta2O5、ZrO2、Al2O3中的至少一种制成。

3.根据权利要求1或2所述的望远镜结构,其特征在于,所述透明基底由光学玻璃或者光学树脂制成。

4.一种望远镜结构的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:

在基底的第一表面上直接形成周期性排布的第一超构表面阵列,以形成具有正屈光力的物镜超构透镜;

在所述基底的与所述第一表面彼此相对的第二表面上直接形成周期性排布的第二超构表面阵列,以形成具有正屈光力的目镜超构透镜;

其中,所述物镜超构透镜的位于面向所述目镜超构透镜侧的焦点与所述目镜超构透镜的位于面向所述物镜超构透镜侧的焦点在所述透明基底内部相互重叠。

5.根据权利要求4所述的制作方法,其特征在于,形成所述第一超构表面阵列和所述第二超构表面阵列,包括:

在所述第一表面和所述第二表面上分别设置彼此对应的定位标记;

在所述第一表面上涂覆第一光刻胶层,并根据所述定位标记对所述第一光刻胶层进行曝光显影,以形成第一图案层;

在所述第一图案层上沉积金属材料后,剥离所述第一图案层,以形成所述第一超构表面阵列;

在所述第二表面上涂覆第二光刻胶层,并根据所述定位标记对所述第二光刻胶层进行曝光显影,以形成第二图案层;

在所述第二图案层上沉积金属材料后,剥离所述第二图案层,以形成所述第二超构表面阵列。

6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,对所述第一光刻胶层或所述第二光刻胶层进行曝光显影,包括:

通过数值模拟获得具有预设光学特性的所述第一超构表面阵列或所述第二超构表面阵列的图案信息;

根据所述第一超构表面阵列的图案信息对所述第一光刻胶层进行曝光,或者根据所述第二超构表面阵列的图案信息对所述第二光刻胶层进行曝光;

对曝光后的所述第一光刻胶层或所述第二光刻胶层进行显影,以形成所述第一图案层或所述第二图案层。

7.一种望远镜结构测试系统,其特征在于,包括:

图像生成装置,用于生成能够形成预设图像的光束;

图像压缩装置,用于缩小所述光束;

以及,沿着缩小后的所述光束的光路依序设置的样品台和图像放大装置,所述样品台用于支撑待测望远镜结构,并使所述光束经过所述待测望远镜结构,所述图像放大装置用于放大经过所述待测望远镜结构的所述光束,并使所述光束成像后进行成像测量。

8.根据权利要求7所述的望远镜结构测试系统,其特征在于,所述图像生成装置包括:激光器以及沿着所述激光器所生成的光束的光路依序设置的空间滤波器、USAF分辨率板、第一线偏振片和第一圆偏振片;其中,所述激光器生成的光束依序经过所述空间滤波器、所述USAF分辨率板、所述线偏振片和所述圆偏振片后能够形成所述预设图像。

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