[发明专利]环电极结构的超高频谐振器在审
| 申请号： | 202110160241.2 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112994647A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;罗天成;刘炎;邹杨;周杰;谢英;徐沁文;高超 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 结构 超高频 谐振器 | ||
1.一种环电极结构的超高频谐振器，其特征在于：包括压电层和环绕在压电层四周的环电极；单个环电极以环状分布在压电层四周，多个环电极沿着压电材料长度方向分布；所述环电极分为第一环电极阵列和第二环电极阵列，所述第一环电极阵列和第二环电极阵列分布施加正负电压激励；所述第一环电极阵列、第二环电极阵列中相邻的电极之间的距离与电极的宽度之比在10以下从而激发兰姆波，或者在10以上从而激发横向剪切体声波。
2.根据权利要求1所述的环电极结构的超高频谐振器，其特征在于：所述压电层的材料为氮化铝、氧化锌、铌酸锂、PZT或铌酸钡钠中的一种。
3.根据权利要求1或2所述的环电极结构的超高频谐振器，其特征在于：所述环电极的材料为钼、铂、金、银、铝、钨、钛、钌、铜或铬中的一种或多种组合。
4.根据权利要求1或2所述的环电极结构的超高频谐振器，其特征在于：所述第一环电极阵列内相邻电极间的距离m1，第二环电极阵列内相邻电极间的距离m2，m1与m2相等或者不相等；所述第一环电极阵列和第二环电极阵列间相邻电极的距离n1，第一环电极阵列内相邻电极间的距离m1、第二环电极阵列内相邻电极间的距离m2，n1、m1与m2相等或者不相等。
5.根据权利要求3环电极结构的超高频谐振器，其特征在于：所述第一环电极阵列内相邻电极间的距离m1，第二环电极阵列内相邻电极间的距离m2，m1与m2相等或者不相等；所述第一环电极阵列和第二环电极阵列间相邻电极的距离n1，第一环电极阵列内相邻电极间的距离m1、第二环电极阵列内相邻电极间的距离m2，n1、m1与m2相等或者不相等。
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