[发明专利]一种高开关次数的柔性选通器及其制备方法

权利要求书

1.一种高切换次数的柔性选通器，其特征在于，从下到上依次是底电极、介质层、顶电极、保护层；所述的底电极为透明柔性的ITO/PEN，即掺铟的SnO₂薄膜/聚萘二甲酸乙二醇酯；所述的介质层材料为Cs_xFA_yMA_1-x-yPbI_3-zBr_z，介质层材料Cs_xFA_yMA_1-x-yPbI_3-zBr_z通过低温溶液旋涂法制得；所述的顶电极为Ag，所述保护层为Au。

2.根据权利要求1所述的柔性选通器，其特征在于，所述的ITO厚度为300～400nm。

3.根据权利要求1所述的柔性选通器，其特征在于，所述的介质层厚度为200～300nm；所述的顶电极厚度为80～150nm，其形状为圆形，直径为100～1000μm；所述的保护层厚度为5～20nm，其形状为圆形，直径为100～1000μm。

4.根据权利要求3所述的柔性选通器，其特征在于，所述的介质层厚度优选为230nm；所述的顶电极厚度优选为100nm，直径优选为300nm；所述的保护层厚度优选为10nm，直径优选为300μm。

5.一种权利要求1-4任一所述的柔性选通器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，紫外处理透明ITO/PEN柔性衬底；

步骤2，制备卤素钙钛矿Cs_xFA_yMA_1-x-yPbI_3-zBr_z溶液：

(1)将甲脒氢碘酸盐FAI、甲氨溴MABr、碘化铅PbI₂、溴化铅PbBr₂溶解于二甲基甲酰胺DMF和二甲基亚砜DMSO的混合溶液中，得到溶液A；其中，每1ml混合溶液中对应加入0.3～0.6mmol FAI、0.06～0.12mmol MABr、0.36～0.72mmol PbI₂、0.02～0.04mmol PbBr₂；

(2)将碘化铯CsI溶解于DMSO溶液中得到溶液B；其中，每1mL的DMSO溶液中对应加入0.9～1.8mmol CsI；

(3)将溶液A和溶液B分别在40～70℃条件下搅拌0.5～2h后，过滤去除溶液中的大颗粒，获得淡黄色的溶液A和无色透明的溶液B；

(4)室温下，将过滤后的溶液B加入过滤后的溶液A中，得到Cs_xFA_yMA_1-x-yPbI_3-zBr_z溶液；其中，每1mL过滤后的溶液A中对应加入40～80ul的溶液B；

步骤3，制作介质层，整个流程在氮气环境下进行：

(1)在ITO/PEN柔性衬底的导电面上滴加Cs_xFA_yMA_1-x-yPbI_3-zBr_z溶液；其中，每2.25cm²的导电面上滴加25～35μl的Cs_xFA_yMA_1-x-yPbI_3-zBr_z溶液；

(2)开启匀胶机进行旋涂；

(3)在旋涂结束前3～10S时滴加反溶剂氯苯，其中，每2.25cm²滴加120～150μl，使得钙钛矿快速结晶，然后在100～120℃条件下退火处理30～50分钟，在导电面上得到卤素钙钛矿薄膜，即介质层；

步骤4，制备顶电极：

通过真空热蒸发法在步骤3中的钙钛矿薄膜上沉积圆形的顶电极，顶电极为银Ag，顶电极均匀分布在介质层表面；

步骤5，制备保护层

通过真空热蒸发法在步骤4中的顶电极上沉积圆形的保护层，保护层为金Au，制得卤素钙钛矿柔性选通器。