[发明专利]双振镜方头及其校准方法

说明书

本发明实施例公开了一种双振镜方头及其校准方法。包括第一激光发射组件、第二激光发射组件、第一振镜组件、第二振镜组件、场镜机构以及基座，第一振镜组件和第二振镜组件以基座在竖直方向的中心线对称设置，激光发射组件发射第一激光束和第二激光束，第一激光束经过第一振镜组件的反射和场镜机构的折射聚焦在工作面上形成光路A，第二激光束经过第二振镜组件的反射和场镜机构的折射聚焦在工作面上形成光路B，光路A的入射段和光路B的入射段位于同一水平面。第一振镜组件和第二振镜组件整合到同一个振镜方头中，共用一个场镜机构，调节光路A和光路B，使两光路的焦点重合。

技术领域

本发明涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种双振镜方头及其校准方法。

背景技术

双振镜方头相比于单振镜方头具有较大的工作幅面和加工效率，现有的双振镜方头是将两个单振镜方头组装在一起同时工作，由于两个单振镜单元是分别控制的，两个振镜单元共同加工同一工件时精度较低，容易出现加工误差。

现有的振镜校准方式只能保证光经过方头后垂直入射到工作平面，不能保证两组光路运动到相同的加工区域时聚焦点重合。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种双振镜方头及其校准方法，用于解决现有技术中的难以保证加工精度问题。

一种双振镜方头，包括激光发射组件、第一振镜组件、第二振镜组件、场镜机构以及基座，所述第一振镜组件、所述第二振镜组件和所述场镜均安装在所述基座上，所述激光发射组件发射第一激光束和第二激光束，所述第一激光束进入所述双振镜方头内经过所述第一振镜组件的反射和所述场镜机构的折射聚焦在工作面上形成光路A，所述第二激光束从另一角度进入所述双振镜方头内经过所述第二振镜组件的反射和所述场镜机构的折射聚焦在工作面上形成光路B，所述第一振镜组件和所述第二振镜组件以所述基座在竖直方向的中心线对称设置，从而使得所述光路A和所述光路B以所述双振镜方头在竖直方向的中轴线为对称中心，所述第一激光束的工作面和所述第二激光的工作面位于同一水平面且重合。

可选的，所述第一激光束和所述第二激光束均垂直入射到所述振镜片上。

可选的，所述第一振镜组件包括第一X振镜片、驱动所述第一X振镜片的第一X振镜调节钮、第一Y振镜片和驱动所述第一Y振镜片的第一Y振镜调节钮；

所述第二振镜组件包括第二X振镜片、驱动所述第二X振镜片的第二X振镜调节钮、第二Y振镜片和驱动所述第二Y振镜片的第二Y振镜调节钮。

可选的，所述基座上设有第一X固位孔、第一Y固位孔、第二X固位孔、第二Y固位孔、第一激光入射孔、第二激光入射孔以及场镜安装孔；

所述第一X振镜片和所述第一X振镜调节钮组装后安装在所述第一X固位孔内，所述第一Y振镜片和所述第一Y振镜调节钮组装后安装在所述第一Y固位孔内，所述第二X振镜片和所述第二X振镜调节钮组装后安装在所述第二X 固位孔内，所述第二Y振镜片和所述第二Y振镜调节钮组装后安装在所述第二Y 固位孔内，所述第一激光束从所述第一激光入射孔射入所述双振镜方头的内部，所述第二激光束经过所述第二激光入射孔射入所述双振镜方头的内部，所述场镜机构安装在所述场镜安装孔内。

可选的，所述第一激光入射孔、所述第一X固位孔、所述第一Y固位孔和所述场镜安装孔连通形成供所述光路A通过的第一空腔；

所述第二激光入射孔、所述第二X固位孔、所述第二Y固位孔和所述场镜安装孔连通形成供所述光路B通过的第二空腔；

所述第一空腔和所述第二空腔在所述场镜安装孔处汇合。

可选的，所述激光发射组件包括第一激光发射组件和第二激光发射组件，所述第一激光发射组件包括第一激光器和第一光路调节组件，所述第一光路调节组件用于调节所述第一激光束通过所述第一激光入射孔时的入射角度，所述第二激光发射组件包含有第二激光器和第二光路调节组件，所述第二光路调节组件用于调节所述第二激光束通过所述第二激光入射孔时的入射角度。