[发明专利]一种真空镀膜机公转冷却水管抗震金属支架

说明书

本发明涉及减震支架技术领域，且公开了一种真空镀膜机公转冷却水管抗震金属支架，包括底座，所述底座的内侧活动连接有弹簧杆，所述弹簧杆的内侧活动连接有伸缩轴，通过齿轮环、副齿轮、齿轮杆、环形连接件、压杆的配合，使得三组固定板会同时将冷却水管固定住，且通过活动板、定位轴以及定位轴外侧定位弹簧的配合，可以有效防止冷却水管固定太紧或者震动导致的水管破裂等问题，通过底座内侧移动，通过弹簧杆、伸缩轴、斜杆、滑块和环形弹簧的配合，较少震动对水管造成的损坏，减少水管破裂，连接松动等意外情况的发生，三组底座，能够从各个方向对水管进行减震和固定，全方位的保护冷却水管。

技术领域

本发明涉及减震支架技术领域，具体为一种真空镀膜机公转冷却水管抗震金属支架。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，离子束溅射等很多种，蒸发镀膜时，为了使靶材能够均匀地镀到基片上，一般需要将基片放置在公转架上，公转会带动基片转动，同时膜层厚度检测设备和基片一起安装在公转架上。

因为镀膜时镀膜机内部为高真空高温状态，膜层检测设备需要用冷却水冷却保护，而公转在转动时会产生震动，冷却水管固定不牢固时，会使得冷却水管在长时间震动后易脱落，造成内部机器损坏，甚至损坏产品，固定太紧时，易导致冷却水管破裂，或是压迫水管，使得冷却效果缩减。

为了解决上述问题，发明者提供了一种真空镀膜机公转冷却水管抗震金属支架，具备能够将冷却水管固定牢固，不会因为震动脱落，且不会损伤水管的优点。

发明内容

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空镀膜机公转冷却水管抗震金属支架，包括底座，所述底座的内侧活动连接有弹簧杆，所述弹簧杆的内侧活动连接有伸缩轴，所述伸缩轴的内侧活动连接有安装座，所述安装座的外侧活动连接有斜杆，所述斜杆的内侧一端活动连接有滑块，所述滑块的外侧活动连接有环形弹簧，所述环形弹簧的内侧活动连接有固定支架，所述固定支架的内部活动连接有连接杆，所述连接杆的一端活动连接有环形连接件，所述环形连接件的内侧活动连接有齿轮杆，所述齿轮杆的内侧一端活动连接有副齿轮，所述副齿轮的内侧啮合连接有齿轮环，所述齿轮环的内侧活动连接有压杆，所述压杆的内部活动连接有定位轴，所述定位轴的内侧活动连接有活动板，所述活动板的内侧活动连接有固定板。

优选的，所述底座设置有三组，等间距排列在固定支架的外侧，底座的内部设置有两组弹簧杆，对称设置在底座的两侧

优选的，所述伸缩轴的外侧一端与底座活动连接有，内侧一端通过安装座和固定支架活动连接，且伸缩轴的内部活动连接有缓冲弹簧。

优选的，所述底座的下端部且位于伸缩轴的外侧设置有两组铰接卡口，斜杆的上端铰接在铰接卡口上，下端铰接在滑块上。

优选的，所述固定支架设置有外支架和内支架两层，连接杆的外侧一端铰接在外支架上，内侧一端与环形连接件活动连接。

优选的，所述齿轮杆的内侧一端通过副齿轮与齿轮环啮合连接，外侧一端活动连接在环形连接件的内部。

优选的，所述压杆的内侧一端设置有盲孔，盲孔内活动连接有定位轴，且定位轴的外侧活动连接有定位弹簧。

优选的，所述活动板为下端设置有凹槽，且凹槽与定位轴相对，活动板的内侧一端与固定板活动连接。

有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种真空镀膜机公转冷却水管抗震金属支架，具备以下有益效果：

1、该真空镀膜机公转冷却水管抗震金属支架，通过齿轮环转动时，通过副齿轮带动齿轮杆绕内侧铰接点转动，同时齿轮杆带动环形连接件、压杆、固定板向内侧移动，三组固定板会同时将冷却水管固定住，且安装后冷却水管可以通过活动板、定位轴以及定位轴外侧定位弹簧的配合，可以有效防止冷却水管固定太紧或者震动导致的水管破裂等问题。