[发明专利]一种石墨烯全电极透明OLED器件制作方法在审
申请号: | 202110124926.1 | 申请日: | 2021-01-29 |
公开(公告)号: | CN112885980A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 郝玉峰;吴楠楠;张明斐 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | H01L51/54 | 分类号: | H01L51/54;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 黄欣 |
地址: | 210008 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 电极 透明 oled 器件 制作方法 | ||
1.一种OLED器件,包括衬底,在衬底上由下至上依次为阳极、空穴传输/注入层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极,其特征在于:所述阳极采用石墨烯制成。
2.根据权利要求1所述的OLED器件,其特征在于:所述阴极采用石墨烯或铝制成。
3.权利要求1或2所述的OLED器件的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤1,取衬底备用;
步骤2,采用化学气相沉积法在铜箔上制备石墨烯,并将石墨烯转移至步骤1的衬底上;
步骤3,在石墨烯上蒸镀金/铬作为引出电极;
步骤4,旋涂PEDOT材料,制成空穴传输/注入层;
步骤5,旋涂发光材料,制成发光层;
步骤6,采用热蒸镀制成电子传输层和电子注入层;
步骤7,制备阴极。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤7中通过掩模版热蒸镀铝电极作为阴极,或者转移步骤2中的石墨烯作为阴极。
5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤1中所述衬底为玻璃衬底或镀有ITO的玻璃衬底。
6.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤2中制备石墨烯的具体条件为:将铜衬底置于管式炉中,生长用低压条件,生长温度1035℃;氩气50~200sccm,氢气1~20sccm,甲烷0.3~1sccm,生长时间3~8h。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于:步骤2中得到的石墨烯为1~5层,多层覆盖率为30%~80%。
8.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤2中将石墨烯转移至衬底的具体过程为:将带有石墨烯的铜箔固定在玻璃片上,在石墨烯/铜/玻璃的表面旋涂PMMA溶液,干燥后将取下PMMA/石墨烯/铜部分,将其浸入过硫酸铵溶液中使铜溶解,得到PMMA/石墨烯薄膜,然后将洗净的PMMA/石墨烯薄膜置于步骤1的衬底上,加热后,将PMMA/石墨烯/衬底浸入丙酮中以去除PMMA,取出后经退火,即可。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学,未经南京大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110124926.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种便于调节排风位置的电气柜
- 下一篇:一种语音识别系统
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择