[发明专利]一种激光加工方法、光学系统及激光加工设备

权利要求书

1.一种激光加工方法，其特征在于，包括：

发射激光束，其中，所述激光束为多波长激光束，所述多波长激光束透射多波长组件，所述多波长组件包括第一多波长透镜及第二多波长透镜，所述多波长激光束依次透射第一多波长透镜和第二多波长透镜，其中，所述第一多波长透镜的双面都为凹面，所述第二多波长透镜的凹面靠近像侧，凸面靠近物侧；

透射所述第二多波长透镜的多波长激光束入射至反射镜，使得所述反射镜反射所述激光束至反摄远透镜组，其中，所述反摄远透镜组包括第一透镜组与第二透镜组，所述第一透镜组及所述第二透镜组从物侧到像侧沿光轴依次设置，所述第一透镜组具有负光焦度，所述第二透镜组具有正光焦度；所述第二透镜组包括第二透镜和第三透镜，其中，所述第二透镜为双凸透镜，具有正光焦度；所述第三透镜为双凸透镜，具有正光焦度；

控制所述反摄远透镜组透射所述激光束至待加工件，以加工所述待加工件，所述控制所述反摄远透镜组透射所述激光束至待加工件，以加工所述待加工件包括：校正所述多波长激光束中各个波长激光的轴向色差，使得所述多波长激光束中各个波长激光的聚焦光斑都在相同成像面的瑞利范围，控制所述各个波长激光焊接所述待加工件，使用所述多波长激光束在激光焊接下加工所述待加工件时，长波的激光形成的大光斑能够在激光加工过程中获得相对短波时的更大焊接面积，短波激光形成的小光斑能够形成所需要的焊接深度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

控制所述反射镜按照预设角度进行摆动，所述反射镜摆动时，所述激光束在视场范围内不同位置形成的聚焦光斑都在瑞利范围内。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括：

控制所述待加工件移动，使得所述激光束相对所述待加工件的移动轨迹为预设移动轨迹。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

根据比例分配规则，控制每个所述波长激光的聚焦光斑大小。

5.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其特征在于，在所述激光束射入所述反射镜之前，所述方法还包括：准直所述多波长激光束。

6.一种光学系统，其特征在于，包括从物侧到像侧之间沿光轴依次设置的多波长组件、反射镜及反摄远透镜组，其中，所述反射镜用于反射激光束，所述激光束为多波长激光束，所述反摄远透镜组包括第一透镜组与第二透镜组，所述第一透镜组及所述第二透镜组从物侧到像侧沿光轴依次设置，所述第一透镜组具有负光焦度，所述第二透镜组具有正光焦度；所述第二透镜组包括第二透镜和第三透镜，其中，所述第二透镜为双凸透镜，具有正光焦度；所述第三透镜为双凸透镜，具有正光焦度；所述多波长激光束透射多波长组件，所述多波长组件包括第一多波长透镜及第二多波长透镜所述多波长激光束依次透射第一多波长透镜和第二多波长透镜，其中，所述第一多波长透镜的双面都为凹面，所述第二多波长透镜的凹面靠近像侧，凸面靠近物侧，所述反摄远透镜组用于透射所述激光束至待加工件，以加工所述待加工件，所述多波长组件用于校正所述多波长激光束中各个波长激光的轴向色差，使得所述多波长激光束中各个波长激光的聚焦光斑都在相同成像面的瑞利范围，控制所述各个波长激光焊接所述待加工件，使用所述多波长激光束在激光焊接下加工所述待加工件时，长波的激光形成的大光斑能够在激光加工过程中获得相对短波时的更大焊接面积，短波激光形成的小光斑能够形成所需要的焊接深度。

7.根据权利要求6所述的光学系统，其特征在于，透射所述反摄远透镜组的各个波长激光的焦点都在相同成像面的瑞利范围。

8.一种激光加工设备，其特征在于，包括：如权利要求6至7任一项所述的光学系统。