[发明专利]一种Ag/C60 有效
| 申请号: | 202110120380.2 | 申请日: | 2021-01-28 |
| 公开(公告)号: | CN112864328B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
| 发明(设计)人: | 孙文红;王家斌;杨亚 | 申请(专利权)人: | 广西大学 |
| 主分类号: | H01L51/46 | 分类号: | H01L51/46;H01L51/42;H01L51/44;H01L51/48 |
| 代理公司: | 南宁市吉昌知识产权代理事务所(普通合伙) 45125 | 代理人: | 李秋琦 |
| 地址: | 530004 广西壮族*** | 国省代码: | 广西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 ag base sub 60 | ||
1.一种Ag/C60/P3HT/n-GaN/In平面型异质结材料,其特征在于,包括:衬底、n-GaN薄膜层、P3HT层、C60层、Ag层和In电极;
所述衬底的材质为蓝宝石;所述n-GaN薄膜层设置在所述衬底上;所述P3HT层和In电极设置在所述n-GaN薄膜层上;所述C60层设置在所述P3HT层上;所述Ag层设置在所述C60层上;
其中,通过两步退火法,使n-GaN薄膜层与In电极之间形成欧姆接触:第一步200℃退火5min,第二步300℃退火8min。
2.按照权利要求1所述的Ag/C60/P3HT/n-GaN/In平面型异质结材料,其特征在于:所述n-GaN薄膜层的厚度为1~2μm,所述P3HT层厚度为80~120nm,所述C60层厚度为30~70nm,所述Ag层厚度为80~120nm。
3.按照权利要求1所述的Ag/C60/P3HT/n-GaN/In平面型异质结材料,其特征在于:所述n-GaN薄膜层的厚度为1.5μm,所述P3HT层厚度为100nm,所述C60层厚度为50nm,所述Ag层厚度为100nm。
4.权利要求1所述的Ag/C60/P3HT/n-GaN/In平面型异质结材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)利用MOCVD在衬底上生长n-GaN薄膜层;
(2)在n-GaN薄膜层上旋凃P3HT溶液得到P3HT层;
(3)在P3HT层上蒸镀C60得到C60层,在C60层上蒸镀Ag得到Ag层;
(4)将步骤(3)制得的材料和铟一起放入快速退火炉,在氮气氛围中以两步法退火在n-GaN薄膜层上制备得到In电极,第一步200℃退火5min,第二步300℃退火8min;即得Ag/C60/P3HT/n-GaN/In平面型异质结材料。
5.按照权利要求4所述的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,利用MOCVD在衬底上生长n-GaN薄膜层之后,再用丙酮、酒精和去离子水分别进行超声波清洗,再在紫外线清洗机中清洗。
6.按照权利要求4所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中,先将P3HT溶于氯苯中得到质量分数为1.1wt%的P3HT溶液,再以1500rpm/s的转速在n-GaN薄膜层上旋凃P3HT溶液60s得到P3HT层。
7.按照权利要求4所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中,制备好P3HT层之后,将材料在140~145℃加热10min以将氯苯蒸发掉。
8.按照权利要求7所述的制备方法,其特征在于:加热温度为142℃。
9.按照权利要求4所述的制备方法,其特征在于:步骤(3)中,利用金属有机蒸镀系统在P3HT层上蒸镀C60得到C60层,在C60层上蒸镀Ag得到Ag层。
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