[发明专利]一种基于SPR的高灵敏度光子准晶体光纤甲烷传感器有效
| 申请号: | 202110114378.4 | 申请日: | 2021-01-27 |
| 公开(公告)号: | CN112945905B | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
| 发明(设计)人: | 刘强;赵锦;孙宇丹;刘超;刘伟;付天舒;吕靖薇;汪发美 | 申请(专利权)人: | 东北石油大学 |
| 主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
| 代理公司: | 大庆禹奥专利事务所 23208 | 代理人: | 朱林;杨立芹 |
| 地址: | 163000 黑龙江省*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 spr 灵敏度 光子 晶体 光纤 甲烷 传感器 | ||
1.一种基于SPR的高灵敏度光子准晶体光纤甲烷传感器,其特征在于:所述甲烷传感器为光子准晶体光纤,其包层由按六重Penrose型准晶结构排布的两层空气孔组成,第一层为6个内层空气孔(3),所包围区域为纤芯(2),第二层为8个外层空气孔(1),其中纤芯(2)的上方和下方的4个内层空气孔(3)的直径小于其余两个内层空气孔(3)的直径;所述光子准晶体光纤的材料为二氧化硅,且光子准晶光纤的两面对称侧抛,侧抛的两个表面镀银薄膜(4),在银薄膜(4)的表面涂覆甲烷敏感薄膜(5);
所述光子准晶体光纤的直径为15μm,晶格常数(6)Λ为3.0μm,外层空气孔(1)的直径为1.7μm,内层空气孔(3)中两个大孔的直径为1.7μm,四个小孔的直径为1.3μm;
所述光子准晶体光纤的顶面和底面对称侧抛,侧抛平面到纤芯的距离为5.2μm;
所述银薄膜(4)的厚度为28nm,并覆盖整个侧抛表面;
所述甲烷敏感薄膜(5)由Cryptophane E和聚硅氧烷制成,其厚度为500nm,并覆盖整个银膜。
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