[发明专利]液体喷射装置

说明书

本发明提供一种液体喷射装置。在连续地喷射液体的同时使被喷射的连续状态的液体液滴化且将液滴化了的液体向对象物进行喷射的结构的液体喷射装置中，对该液体的扩散进行抑制。本发明的液体喷射装置(1)具备：喷嘴(23)，其对液体(4)进行喷射；气流导入部件(33)，其相对于液体(4)而导入气流；输液泵(22)，其对液体(4)的压力进行调节；压力泵(32)，其对由气流导入部件(33)导入的气流的导入压力进行调节；控制部(5)，其对输液泵(22)以及压力泵(32)的驱动进行控制，控制部(5)使气流的导入压力相对于液体(4)的喷射压力的比率成为0.005以上且0.11以下。

技术领域

本发明涉及一种液体喷射装置。

背景技术

一直以来，使用有向对象物喷射液体的各种各样的液体喷射装置。在像这样的液体喷射装置之中，存在有一种以在液体具有较大的能量的状态下向对象物喷射该液体为目的的液体喷射装置。例如，在专利文献1中，公开了一种使纯水和氮气碰撞从形成纯水的液滴并使其喷出的基板处理装置。

但是，专利文献1的基板处理装置也会像专利文献1中所记载的下述的表1所示那样，氮气的流量相对于纯水的流量变多。另外，即使是在作为表1的比较例而列举的结构中，氮气的流量相对于纯水的流量的比率也成为0.5以上。像这样，在不论是相对于气体的流量而言液体的流量较多时、或相对于气体的流量而言液体的流量较少时，液体的流量相对于气体的流量的比率均成为0.5以上等情况中，存在有如下情况，即，液体的液滴发生扩散，从而难以在具有较大的能量的状态下使液体向对象物进行喷射。

表1

专利文献1：日本特开2009-88079号公报

发明内容

用于解决上述课题的本发明的液体喷射装置，其特征在于，具备：喷嘴，其对液体进行喷射；气流导入部件，其相对于液体而导入气流；输液泵，其对液体的压力进行调节；压力泵，其对由所述气流导入部件导入的气流的导入压力进行调节；控制部，其对所述输液泵以及所述压力泵的驱动进行控制，所述控制部使所述气流的导入压力相对于液体的喷射压力的比率成为0.005以上且0.11以下。

附图说明

图1为表示实施例1的液体喷射装置的示意图。

图2为表示对液体的喷射压力和气流的导入压力进行了变更的情况下的液滴的状态的照片。

图3为表示在能够形成优选的状态的液滴的条件下，能够使液滴化距离最小的情况下的液体的喷射压力和气流的导入压力的关系的曲线图。

图4为表示在能够形成优选的状态的液滴的条件下，能够使液滴化距离最小的情况下的液体的喷射压力和气流的导入压力相对于液体的喷射压力的的比率的关系的曲线图。

图5为表示在能够形成优选的状态的液滴的条件下，每个液体的喷射压力的、气流的导入压力和液滴化距离的关系的曲线图。

图6为表示在能够形成优选的状态的液滴的条件下，每个液体的喷射压力的、气流的导入压力相对于液体的喷射压力的比率和液滴化距离的关系的曲线图。

图7为表示在能够形成优选的状态的液滴的条件下，能够使液滴化距离最小的情况下的、雷诺数和气流的导入压力的关系的曲线图。

具体实施方式

首先，概略性地对本发明进行说明。

用于解决上述课题的本发明的第一实施方式的液体喷射装置，其特征在于，具备：喷嘴，其对液体进行喷射；气流导入部件，其相对于液体而导入气流；输液泵，其对液体的压力进行调节；压力泵，其对由所述气流导入部件导入的气流的导入压力进行调节；控制部，其对所述输液泵以及所述压力泵的驱动进行控制，所述控制部使所述气流的导入压力相对于液体的喷射压力的比率成为0.005以上且0.11以下。