[发明专利]半导体装置结构在审
申请号: | 202110103815.2 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN113659007A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 王志庆;李威养;温明璋;洪若慈;谢文兴;程冠伦 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/10;H01L27/088;H01L27/092 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体装置结构,其特征在于,包括:
一第一通道层,由一第一材料形成,其中该第一通道层具有一第一宽度;
一第二通道层,由异于该第一材料的一第二材料形成,其中该第二通道层具有小于该第一宽度的一第二宽度,且该第二通道层接触该第一通道层;
一栅极介电层,保型地设置在该第一通道层及该第二通道层上;以及
一栅极电极层,设置在该栅极介电层上。
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