[发明专利]基于小孔节流气浮单元和柔性气囊的自适应装配平台

权利要求书

1.基于小孔节流气浮单元和柔性气囊的自适应装配平台，其特征在于，包括载物台(1)、N个可充气柔性气囊(2)、小孔节流气浮单元(3)和气浮平台(4)；N为大于或等于3的整数；

N个可充气柔性气囊(2)被夹持在载物台(1)和小孔节流气浮单元(3)之间，且载物台(1)位于小孔节流气浮单元(3)的上方；

载物台(1)，用于支撑待装配的产品(5)；

N个充气柔性气囊(3)，用于共同实现对载物台(1)及其载物台(1)上产品(5)的支撑，还用于实现对载物台(1)在俯仰、升降及滚转三个自由度的柔性自适应运动；

小孔节流气浮单元(3)设置气浮平台(4)上方；

通过向小孔节流气浮单元(3)内供入压缩高压气体，实现小孔节流气浮单元(3)相对于气浮平台(4)的悬浮，还实现小孔节流气浮单元(3)相对气浮平台(4)平面内的前后、左右和旋转的三个自由度的无摩擦运动。

2.根据权利要求1所述的基于小孔节流气浮单元和柔性气囊的自适应装配平台，其特征在于，N个可充气柔性气囊(2)均匀分布。

3.根据权利要求1所述的基于小孔节流气浮单元和柔性气囊的自适应装配平台，其特征在于，对小孔节流气浮单元(3)的供气压力范围为从0.3MPa到1.0MPa；

小孔节流气浮单元(3)工作时，相对于气浮平台(4)的浮起量为从5um到30um。

4.根据权利要求1所述的基于小孔节流气浮单元和柔性气囊的自适应装配平台，其特征在于，气浮平台(4)上安装有轮子(4-1)。

5.根据权利要求1所述的基于小孔节流气浮单元和柔性气囊的自适应装配平台，其特征在于，通过外接气源对N个充气柔性气囊(3)进行充气；还通过调节对N个充气柔性气囊(3)充气压力实现对N个充气柔性气囊(3)支撑刚度的调节。