[发明专利]菲林片、金属网格制备方法及金属网格在审
| 申请号: | 202110100686.1 | 申请日: | 2021-01-25 |
| 公开(公告)号: | CN112882338A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
| 发明(设计)人: | 苏伟;叶宗和;王海峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市志凌伟业光电有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;G03F7/00;G06F3/041 |
| 代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 张志江 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大富*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 菲林片 金属 网格 制备 方法 | ||
1.一种菲林片,其特征在于,包括:
菲林片本体;
网格层,包括设于所述菲林片本体表面的线路部分和网格部分,所述线路部分包括多条沿第一方向延伸的第一线路、及多条沿第二方向延伸的第二线路;
当所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至一百六十度时,所述线路部分还包括以所述第一线路的边缘与所述第二线路的边缘相交的交点为圆心设置的挖空部,所述第一线路的宽度等于所述第二线路的宽度,所述挖空部的半径等于所述第一线路投影的边缘与由所述菲林片制成线路投影的边缘之间差值的预设倍数。
2.根据权利要求1所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至九十度时,所述预设倍数为五分之一至二分之一。
3.根据权利要求2所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为二十度至四十五度时,所述预设倍数为五分之一至四分之一。
4.根据权利要求2所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为四十五度至六十度时,所述预设倍数为四分之一至三分之一。
5.根据权利要求2所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为六十度至九十度时,所述预设倍数为三分之一至二分之一。
6.根据权利要求1所述的菲林片,其特征在于,所述第一线路与所述第二线路之间的夹角为九十度至一百六十度时,所述预设倍数为零。
7.一种金属网格制备方法,其特征在于,包括:
在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层;
将所述金属片贴附至如权利要求1-6任一项所述的菲林片上,进行曝光;
对所述金属片使用显影药水;
对所述金属片使用蚀刻液;
去除所述金属片表面留下的所述感光层,得到完成图案化的产品。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,当所述感光材料为负性光阻或干膜时,所述菲林片的线路部分透光;
当所述感光材料为正性光阻时,所述菲林片的网格部分透光。
9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述在所述金属片表面涂布感光材料形成感光层的步骤之前或之后还包括:
对所述金属片进行裁切。
10.一种金属网格,由权利要求7-9任一项所述的方法制成,其特征在于,包括:
多条沿第一方向延伸的第一金属线、及多条沿第二方向延伸的第二金属线。
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