[发明专利]一种全自动曝光机

权利要求书

1.一种全自动曝光机，其包括第一台面、第二台面、曝光系统，其特征在于：所述全自动曝光机还包括至少两个抓料机械手和至少一个暂存机械手，所述两个抓料机械手包括设置于所述第一台面处的第一抓料机械手和设置于所述第二台面处的第二抓料机械手；所述第一台面和所述第二台面位于所述曝光系统的两端，并且可以分别移动至所述曝光系统处，所述第一台面和所述第二台面上均可放置待曝光的基件；当所述第一台面移动至所述曝光系统处时，所述曝光系统对放置在所述第一台面上的所述基件进行曝光，当所述第二台面移动至所述曝光系统处时，所述曝光系统对放置在所述第二台面上的所述基件进行曝光；所述至少一个暂存机械手抓取至少一面曝光完成的所述基件，待与其最接近的所述抓料机械手空置后，所述至少一个暂存机械手将其正在抓取的所述基件交接至所述抓料机械手中，随后所述抓料机械手将所述至少一面曝光完成的基件转移到下一工位。

2.根据权利要求1所述的全自动曝光机，其特征在于：所述全自动曝光机包括用于提供和输送基件的上料装置，所述上料装置设置有上料定位装置，所述上料定位装置用于对所述基件进行定位。

3.根据权利要求2所述的全自动曝光机，其特征在于：所述全自动曝光机进一步包括下料装置，用于存放或运走曝光完成的所述基件，所述下料装置设置有方位调整装置，所述方位调整装置可沿竖向升降，并带动所述基件转动。

4.根据权利要求1所述的全自动曝光机，其特征在于：所述全自动曝光机还包括设置于所述曝光系统上方的顶部输送组件，所述顶部输送组件用于将所述基件从所述第一台面侧输送至所述第二台面侧。

5.根据权利要求4所述的全自动曝光机，其特征在于：所述顶部输送组件包括清洁装置，所述清洁装置用于对所述基件表面进行清洁。

6.根据权利要求5所述的全自动曝光机，其特征在于：所述顶部输送组件还包括输送定位装置，所述输送定位装置用于将所述基件定位于一特定位置，以便所述第二抓料机械手准确抓取所述基件。

7.根据权利要求2-6任一项所述的全自动曝光机，其特征在于：所述至少一个暂存机械手包括设置于所述第一台面处的第一暂存机械手，所述第一暂存机械手抓取在所述第一台面上完成曝光的所述基件并将其从所述第一台面上移开，待所述第一抓料机械手空置后，所述第一暂存机械手将其抓取的所述基件交接至所述第一抓料机械手中。

8.根据权利要求7所述的全自动曝光机，其特征在于：所述第一抓料机械手可用于执行以下部分或全部操作：

（1）、所述第一抓料机械手抓取待曝光的所述基件，并将其放置于所述第一台面；

（2）、所述第一抓料机械手抓取所述第一暂存机械手正在抓取的所述基件，完成交接，并将交接得到的所述基件放置于所述顶部输送组件；

（3）、所述第一抓料机械手抓取待曝光的所述基件，直接将其放置于所述顶部输送组件。

9.根据权利要求7所述的全自动曝光机，其特征在于：所述第一暂存机械手抓取在所述第一台面上完成曝光的所述基件后，旋转第一角度；所述第一抓料机械手在所述第一台面空置后，将另一待曝光的所述基件放置于所述第一台面；所述第一暂存机械手继续旋转第二角度，使所述第一抓料机械手正对所述第一暂存机械手正在抓取的所述基件，随后所述第一暂存机械手将正在抓取的所述基件交接至所述第一抓料机械手中，由所述第一抓料机械手将交接到的所述基件放置于所述顶部输送组件。

10.根据权利要求7所述的全自动曝光机，其特征在于：所述至少一个暂存机械手还包括设置于所述第二台面处的第二暂存机械手，用于抓取在所述第二台面上完成曝光的所述基件并将其从所述第二台面上移开，待所述第二抓料机械手空置后，所述第二暂存机械手将其抓取的所述基件交接至所述第二抓料机械手中。