[发明专利]一种提升玻璃基板与金属线路结合力的方法有效
| 申请号: | 202110094638.6 | 申请日: | 2021-01-25 |
| 公开(公告)号: | CN112928029B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
| 发明(设计)人: | 杨斌;罗绍根;华显刚 | 申请(专利权)人: | 佛山睿科微电子科技中心(有限合伙) |
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;C09J5/02 |
| 代理公司: | 广州鼎贤知识产权代理有限公司 44502 | 代理人: | 刘莉梅 |
| 地址: | 528225 广东省佛山市南海区狮山镇南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 提升 玻璃 金属 线路 结合 方法 | ||
1.一种提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,提供改性硅烷偶联剂,对所述改性硅烷偶联剂进行水解处理制得水解产物,将所述水解产物制作于玻璃基板表面形成涂层,接着于所述涂层上方制作金属线路;
所述改性硅烷偶联剂为结构式(1)所示的苯并三氮唑基三乙氧基硅烷或者结构式(2)所示的赖氨酸基三乙氧基硅烷;
2.根据权利要求1所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述改性硅烷偶联剂水解采用的水解剂为A-水,其中,A为醋酸、乙醇、甲醇、甲苯中的任一种。
3.根据权利要求2所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,A与水的体积比为9:1。
4.根据权利要求2所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述改性硅烷偶联剂在所述水解剂中的浓度为1~50%。
5.根据权利要求1所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述苯并三氮唑基三乙氧基硅烷采用以下制备方法制得:
S10a、将γ-氨丙基三乙氧基硅烷溶于甲苯溶液中,然后与苯并三氮唑混合;
S20a、加入催化剂1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0),升温至50~70℃并搅拌,以蒸馏出多于的甲苯;
S30a、采用提取剂提取出未反应的γ-氨丙基三乙氧基硅烷,制得苯并三氮唑基三乙氧基硅烷。
6.根据权利要求5所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅在所述甲苯溶液中的浓度为1~50%,所述苯并三氮唑的浓度为1~50%,所述催化剂1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0)的浓度为1~10%。
7.根据权利要求5所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷、所述甲苯、所述苯并三氮唑与所述1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0)的质量比为10:10:10:3。
8.根据权利要求1所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述赖氨酸基三乙氧基硅烷采用以下制备方法制得:
S10b、将γ-氨丙基三乙氧基硅烷溶解于甲苯溶液中,然后加入赖氨酸;
S20b、在水浴中升温至50~70℃并搅拌,制得赖氨酸基三乙氧基硅烷。
9.根据权利要求8所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷在甲苯溶液中的浓度为1~50%,所述赖氨酸的浓度1~50%。
10.根据权利要求9所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷、所述甲苯与所述赖氨酸的质量比为1:1:1。
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