[发明专利]一种提升玻璃基板与金属线路结合力的方法有效

专利信息
申请号: 202110094638.6 申请日: 2021-01-25
公开(公告)号: CN112928029B 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 杨斌;罗绍根;华显刚 申请(专利权)人: 佛山睿科微电子科技中心(有限合伙)
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;C09J5/02
代理公司: 广州鼎贤知识产权代理有限公司 44502 代理人: 刘莉梅
地址: 528225 广东省佛山市南海区狮山镇南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 提升 玻璃 金属 线路 结合 方法
【权利要求书】:

1.一种提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,提供改性硅烷偶联剂,对所述改性硅烷偶联剂进行水解处理制得水解产物,将所述水解产物制作于玻璃基板表面形成涂层,接着于所述涂层上方制作金属线路;

所述改性硅烷偶联剂为结构式(1)所示的苯并三氮唑基三乙氧基硅烷或者结构式(2)所示的赖氨酸基三乙氧基硅烷;

2.根据权利要求1所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述改性硅烷偶联剂水解采用的水解剂为A-水,其中,A为醋酸、乙醇、甲醇、甲苯中的任一种。

3.根据权利要求2所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,A与水的体积比为9:1。

4.根据权利要求2所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述改性硅烷偶联剂在所述水解剂中的浓度为1~50%。

5.根据权利要求1所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述苯并三氮唑基三乙氧基硅烷采用以下制备方法制得:

S10a、将γ-氨丙基三乙氧基硅烷溶于甲苯溶液中,然后与苯并三氮唑混合;

S20a、加入催化剂1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0),升温至50~70℃并搅拌,以蒸馏出多于的甲苯;

S30a、采用提取剂提取出未反应的γ-氨丙基三乙氧基硅烷,制得苯并三氮唑基三乙氧基硅烷。

6.根据权利要求5所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅在所述甲苯溶液中的浓度为1~50%,所述苯并三氮唑的浓度为1~50%,所述催化剂1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0)的浓度为1~10%。

7.根据权利要求5所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷、所述甲苯、所述苯并三氮唑与所述1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷铂(0)的质量比为10:10:10:3。

8.根据权利要求1所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述赖氨酸基三乙氧基硅烷采用以下制备方法制得:

S10b、将γ-氨丙基三乙氧基硅烷溶解于甲苯溶液中,然后加入赖氨酸;

S20b、在水浴中升温至50~70℃并搅拌,制得赖氨酸基三乙氧基硅烷。

9.根据权利要求8所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷在甲苯溶液中的浓度为1~50%,所述赖氨酸的浓度1~50%。

10.根据权利要求9所述的提升玻璃基板与金属线路结合力的方法,其特征在于,所述γ-氨丙基三乙氧基硅烷、所述甲苯与所述赖氨酸的质量比为1:1:1。

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