[发明专利]一种通过金属和介质组合制备诱导透射滤光片的方法

说明书

本发明公开了一种通过金属和介质组合制备诱导透射滤光片的方法，该方法包括以下步骤：步骤一、挑选基片，并按照设定好的尺寸对所述基片依次进行切割、粗磨和清洗；步骤二、在清洗后的所述基片的上表面沉积1层介质反射膜，再在介质反射膜的上表面叠加1层间隔层，再在间隔层的表面镀1层金属膜，按照在金属膜的上表面叠加1层间隔层，沉积1层介质反射膜的顺序，完成膜层的制作，得到透导透射滤光片；步骤三、对步骤二得到的所述透导透射滤光片进行精磨和抛光；步骤四、将抛光后的所述透导透射滤光片清洗干净后进行性能测试。本发明的有益效果是，透导透射滤光片具有高的峰值透射率和特宽的长波截止区，实用性强。

技术领域

本发明涉及滤光片技术领域，特别是一种通过金属和介质组合制备诱导透射滤光片的方法。

背景技术

近年来激光技术有了很好的发展，自由电子激光器的高效率波长转换及高功率紫外激光器新激光光源的出现，对谐振腔和周边光学系统光学镀膜元件的性能提出了要求；在低增益激光器和高功率波长转换等应用中，超低功耗激光反射镜成为重要的光学器件；它要求激光反射膜必须具备吸收小、散射少、反射功率大和耐激光破坏阀值高等优点。

滤光片是光学元件的一种，可对各种色光呈现出通过、反射和吸收三种情况，它具有通过所需色光，吸收其它色光的选择吸收性，从而达到滤光的作用，在光谱分析、激光技术、化学工业、宇航、大型精密仪器以及各类军工产品中均有广泛的应用，在各种测试及分析仪器中起着非常重要的作用；目前为止，其应用主要表现在：天文，等离子体检测，空间探测，激光探测，化学分析，间接温度测量，有害气体分析，颜色测量，光通信系统等等；如763nm的滤光片是为了探测氧分子光谱线而设计的；在红外气体传感器中，不同中心波长的滤光片可以探测不同的气体成分；红外滤光片作为红外分光计的窄带与超窄带通光学薄膜滤光器件，可应用于卫星遥感、光学分析仪器和环境测试等领域。

滤光片的种类主要有截止滤光片和带通滤光片，通常把抑制短波区、透射长波区的滤光片成为长波通滤光片，相反，把抑制长波区、透射短波区的截止滤光片称为短波通滤光片。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述问题，设计了一种通过金属和介质组合制备诱导透射滤光片的方法。

实现上述目的本发明的技术方案为，一种通过金属和介质组合制备诱导透射滤光片的方法，该方法包括以下步骤：

步骤一、挑选基片，并按照设定好的尺寸对所述基片依次进行切割、粗磨和清洗；

步骤二、在清洗后的所述基片的上表面沉积1层介质反射膜，再在介质反射膜的上表面叠加1层间隔层，再在间隔层的表面镀1层金属膜，按照在金属膜的上表面叠加1层间隔层，沉积1层介质反射膜的顺序，完成膜层的制作，得到透导透射滤光片；

步骤三、对步骤二得到的所述透导透射滤光片进行精磨和抛光；

步骤四、将抛光后的所述透导透射滤光片清洗干净后进行性能测试。

作为本发明的进一步说明，膜系结构为介质反射膜/间隔层/金属膜/间隔层/介质反射膜。

作为本发明的进一步说明，所述金属膜的材质包括Ag，两层所述介质反射膜的材质均包括Ta₅O₂和SiO₂。

作为本发明的进一步说明，步骤二中镀所述金属膜时在真空条件下进行蒸镀，真空度为1×e^－3－8×e^－4Pa，蒸发温度为25－85℃，蒸发速率为0.4－0.6nm/s。

作为本发明的进一步说明，步骤二中所述金属膜和其上表面叠加的所述间隔层组合后的等效导纳Y为实数。

作为本发明的进一步说明，步骤二中最上层的所述介质反射膜为高低折射率交替的λ/4膜。