[发明专利]一种大功率光纤耦合半导体激光器测试系统及其使用方法

权利要求书

1.一种大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，包括水冷系统、光纤定位系统、驱动系统、光电参数系统、运动控制系统和光学隔振平台，其中，

光学隔振平台上设置水冷系统，水冷系统上设置激光器，通过水冷系统对激光器进行散热，激光器连接至驱动系统，通过驱动系统驱动激光器工作，运动控制系统设置于光学隔振平台上，运动控制系统上设置光电参数系统，通过运动控制系统带动光电参数系统运动，通过光电参数系统实现LIV、光谱及NA参数的测试，运动控制系统一侧设置光纤定位系统，光纤定位系统连接激光器的光纤输出端，通过光纤定位系统调节激光器发出的激光位置。

2.如权利要求1所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，水冷系统包括水冷金属板和供回水管路，水冷金属板上设置激光器，水冷金属板为长方形金属板，水冷金属板内置供回水管路，供回水管路通过供水球阀连接至厂务水管。

3.如权利要求2所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，驱动系统包括直流电源和工控机，工控机连接至直流电源，直流电源连接至激光器的加电针正负极，形成闭合回路。

4.如权利要求3所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，工控机连接至显示器。

5.如权利要求4所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，运动控制系统包括线性模组和运动控制器，线性模组设置于光学隔振平台上，线性模组连接运动控制器。

6.如权利要求5所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，线性模组上设置拖链。

7.如权利要求5所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，光电参数系统包括积分球、光电参数测试仪、光纤适配器A和功率探测器，积分球设置于线性模组上，积分球上两个输出端，一个输出端通过光纤适配器A和光纤连接至光电参数测试仪，另一个输出端连接功率探测器，功率探测器连接至光电参数测试仪，光电参数测试仪固定于光学隔振平台，光电测试仪连接至工控机。

8.如权利要求7所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，光纤定位系统包括底座、可调支架和光纤适配器B，底座设置于线性模组一侧的光学隔振平台上，底座上设置可调支架，可调支架上设置光纤适配器B，光纤适配器B内设置激光器的光纤输出端。

9.如权利要求8所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统，其特征在于，可调支架包括中空立柱和活动接杆，中空立柱内套装活动接杆，中空立柱顶端设置顶丝，中空立柱设置于底座上，活动接杆顶端设置光纤适配器B。

10.一种如权利要求8所述的大功率光纤耦合半导体激光器测试系统的使用方法，其特征在于，操作步骤如下：

(1)打开水冷系统的供水球阀，通入循环冷却的厂务水，使用扭矩螺丝刀将激光器紧固于水冷金属板上，完全接触，无间隙贴合；

(2)将激光器的光纤输出端插入光纤适配器B中，通过可调支架进行上下、左右多方向的调整，使光纤输出端对准积分球的入射孔，初次校准后无需重复校准；

(3)将直流电源的输出端连接至激光器的加电针正负极；

(4)使用工控机控制直流电源以斜坡模式增加输出电流至工作电流，此时积分球同步接收到激光，通过功率探测器和光纤将信号发送至光电参数测试仪，然后工控机读取并通过显示器显示LIV及光谱数据，最后记录并保存至数据库；

(5)完成LIV与光谱测试后，进行NA测试，运动控制器控制线性模组移动积分球至设定功率位置，工控机记录此位置数据，同时测算出对应的NA数值，光纤输出端中心至积分球入射孔中心的直线距离为L，积分球入射孔的直径为D，NA＝D/L；

(6)完成全部测试后，直流电源自动将输出电流减小至0，然后关闭输出，线性模组连同积分球一并回到原点，等待下次测试。