[发明专利]一种基于热电堆原理的压力传感器有效
| 申请号： | 202110093091.8 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112414609B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L11/00;G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 热电 原理 压力传感器 | ||
1.一种基于热电堆原理的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括：
基板；
热电堆，所述热电堆设置在所述基板上；
空气腔，所述空气腔临近所述热电堆设置在所述基板上；
散热体，所述散热体铺设在所述空气腔的底表面；
腔体薄膜，所述腔体薄膜设置在所述空气腔上方，所述腔体薄膜感知压力；
发热电阻，所述发热电阻设置在所述腔体薄膜上表面的中央区域；
还包括设置在所述发热电阻两侧的第一电极及第二电极，所述第一电极和所述第二电极与所述发热电阻电连接，所述第一电极和所述第二电极给所述发热电阻施加激励电流。
2.根据权利要求1所述的一种基于热电堆原理的压力传感器，其特征在于，所述第一电极通过第一导线与所述发热电阻电连接，所述第二电极通过第二导线与所述发热电阻电连接。
3.根据权利要求1所述的一种基于热电堆原理的压力传感器，其特征在于，所述第一电极及所述第二电极设置在所述腔体薄膜的上表面。
4.根据权利要求2所述的一种基于热电堆原理的压力传感器，其特征在于，所述第一导线及所述第二导线设置在所述腔体薄膜的上表面。
5.根据权利要求1所述的一种基于热电堆原理的压力传感器，其特征在于，所述散热体为散热金属。
6.根据权利要求1所述的一种基于热电堆原理的压力传感器，其特征在于，所述热电堆设置为感应所述发热电阻的温度变化。
7.根据权利要求1所述的一种基于热电堆原理的压力传感器，其特征在于，所述基板包括硅、玻璃或者砷化镓。
8.根据权利要求1所述的一种基于热电堆原理的压力传感器，其特征在于，还包括设置在所述热电堆两端的测试端子。
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