[发明专利]一种便于固定切割线的晶圆线切割装置

权利要求书

1.一种便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，包括底座(1)、支杆(2)、横杆(3)、固定管(4)、移动机构和切割机构，所述横杆(3)通过支杆(2)设置在底座(1)上方，所述固定管(4)设置在底座(1)上，所述移动机构设置在横杆(3)上，所述切割机构设置在移动机构上；

所述移动机构包括第一电机(5)、丝杆(6)、移动杆(7)和移动板(8)，所述第一电机(5)竖向朝下设置在横杆(3)上，所述丝杆(6)安装在第一电机(5)上，所述移动杆(7)套设在丝杆(6)上，所述移动杆(7)与丝杆(6)螺纹连接，所述支杆(2)上设有滑槽，所述移动杆(7)的一端位于滑槽内，所述移动杆(7)与滑槽滑动连接，所述移动板(8)设置在移动杆(7)远离滑槽的一端；

所述切割机构包括第二电机(9)、切割线(10)、定位组件和拉紧组件，所述定位组件有四个，四个定位组件分别设置在移动板(8)的四角，所述定位组件包括固定块(11)、套管(12)、卡杆(13)、第一弹簧(14)、卡块(15)、定位轴(16)和定位轮(17)，所述固定块(11)设置在移动板(8)上，所述固定块(11)上设有凹槽，所述套管(12)的一端位于凹槽内，所述套管(12)的另一端伸出凹槽外，所述套管(12)与凹槽滑动连接，所述卡杆(13)的一端位于套管(12)内，所述卡杆(13)的另一端伸出套管(12)外，所述卡杆(13)与套管(12)滑动连接，所述卡杆(13)伸出套管(12)外的一端与凹槽底部抵靠，所述第一弹簧(14)设置在套管(12)内，所述第一弹簧(14)的两端分别与卡杆(13)和套管(12)抵靠，所述凹槽内设有条形槽，所述条形槽底部设有定位槽，所述定位槽远离条形槽的一端设有卡槽，所述卡块(15)设置在套管(12)上，所述卡块(15)位于卡槽内，所述定位轴(16)设置在套管(12)位于凹槽外的一端，所述定位轮(17)套设在定位轴(16)上，所述定位轮(17)与定位轴(16)键连接，所述切割线(10)套设在四个定位组件的四个定位轮(17)上，所述第二电机(9)设置在其中一个套管(12)上，其中一个定位轴(16)安装在第二电机(9)上，所述拉紧组件包括限位杆(18)、限位块(19)、第二弹簧(20)和限位轮(21)，所述限位杆(18)设置在移动板(8)上，所述限位杆(18)上设置限位槽，所述限位块(19)位于限位槽内，所述限位块(19)与限位槽滑动连接，所述第二弹簧(20)设置在限位槽内，所述第二弹簧(20)的一端与限位槽连接，所述第二弹簧(20)的另一端与限位块(19)连接，所述限位轮(21)设置在限位块(19)上，所述切割线(10)绕过限位轮(21)。

2.如权利要求1所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述卡块(15)有两个，两个卡块(15)分别设置在套管(12)的两侧，所述条形槽有两个，两个条形槽分别与两个卡块(15)对应设置，所述定位槽有两个，两个定位槽分别与两个卡块(15)对应设置，所述卡槽有两个，两个卡块(15)分别位于两个卡槽内。

3.如权利要求1所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述底座(1)上设有PLC，所述第一电机(5)和第二电机(9)均与PLC电连接。

4.如权利要求1所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述底座(1)上设有轴承座，所述丝杆(6)远离第一电机(5)的一端位于轴承座内。

5.如权利要求1所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述移动杆(7)位于滑槽内的一端设有滑块(22)，所述滑槽内设有走位槽，所述滑块(22)位于走位槽内，所述滑块(22)与走位槽滑动连接。

6.如权利要求5所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述滑块(22)有两个，两个滑块(22)分别设置在移动杆(7)的两端，所述走位槽有两个，两个滑块(22)分别位于两个走位槽内。

7.如权利要求6所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述滑块(22)的截面为燕尾型，所述走位槽为燕尾槽。