[发明专利]一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置

说明书

本发明涉及一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置，包括，固定箱、固定板、驱动机构和移动机构，所述驱动机构包括电机、转杆、搅拌组件、从动组件和震动组件，所述移动机构包括气泵、出气管、进气管、单向阀、连杆和抵靠板，该酸洗效果好的单晶硅搅拌装置移动机构和驱动机构实现对主体的多级搅拌，提高搅拌效果，这里当抵靠板与出水管分离时，通过出气管向着固定箱内部顶端的吹气，使得固定箱内部位于固定板上的主体再次的被吹起，使得主体更好的与稀硝酸混合，提高了使用的实用性。

技术领域

本发明特别涉及一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置。

背景技术

单晶硅片在生产过程中需要进行酸洗过程，即通过稀硝酸对单晶硅料进行酸洗，去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅，目前单晶硅酸洗过程中单晶硅料和稀硝酸的接触不够充分，导致酸洗效果低，影响后续工艺。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置，包括固定箱、固定板、驱动机构和移动机构，所述固定箱竖向设置，所述固定板水平设置在固定箱内，所述驱动机构和移动机构均设置在固定箱内；

所述驱动机构包括电机、转杆、搅拌组件、从动组件和震动组件，所述电机竖向朝上设置在固定箱内部的底端，所述转杆竖向设置在固定板上，所述转杆的底端通过固定板安装在电机上；

所述搅拌组件设置在转杆上，所述搅拌组件位于固定板的上方，所述搅拌组件包括搅拌杆、移动环、滑块、轴承和弹簧，所述轴承套设在转杆的顶端，所述移动环套设在转杆上，所述移动环与转杆滑动连接，所述转杆上设有竖向限位槽，所述滑块位于限位槽内，所述滑块与限位槽滑动连接，所述滑块远离限位槽的一端与移动环的内圈连接，所述移动环通过滑块与限位槽滑动连接，所述弹簧设置在轴承和移动环之间，所述弹簧套设在转杆上，所述弹簧的一端与移动环连接，所述弹簧的另一端与轴承的内圈连接，所述搅拌杆有两根，两根搅拌杆分别设置在移动杆的两侧，两根搅拌杆关于转杆的轴线对称设置；

所述震动组件有两个，两个震动组件分别设置在轴承的两侧，两个震动组件关于轴承的轴线对称设置，所述震动组件包括半圆形滤网板和支杆，所述滤网板的圆心位于转杆上，所述滤网板水平设置在轴承的一侧，所述滤网板靠近转杆的一侧设有半圆形凹槽，所述支杆设置在凹槽和滤网板之间，所述支杆的一端与凹槽的内壁铰接，所述支杆的另一端与轴承的外圈铰接；

所述从动组件有两个，两个从动组件分别设置在两根搅拌杆上，两个从动组件关于转杆对称设置，所述从动组件包括套环、滑动杆、连接环和从动单元，所述套环套设在搅拌杆上，所述套环与搅拌杆滑动连接，所述连接环设有滤网板远离转杆的一侧，所述滑动杆竖向设置在连接环上，所述滑动杆的底端通过连接环与套环的外圈连接，所述滑动杆与连接环滑动连接；

所述从动单元设置在固定箱内部的顶端，所述从动单元包括螺纹筒、丝杆、从动杆和轴承座，所述固定箱顶端的内壁上设有环形定位槽，所述定位槽内设有滑动块，所述轴承座设置在滑块的上，所述轴承座通过滑动块与定位槽滑动连接，所述定位槽的截面为燕尾形，所述螺纹筒竖向设置在轴承座的下方，所述丝杆竖向设置在滑动杆和螺纹筒之间，所述丝杆与滑动杆同轴设置，所述丝杆与螺纹筒同轴设置，所述螺纹筒的底端设有与丝杆相匹配的内螺纹孔，所述丝杆的底端与滑动杆的顶端连接，所述丝杆的顶端位于螺纹孔内，所述丝杆与螺纹孔螺纹连接，所述螺纹筒的顶端通过轴承座与定位槽连接，所述从动杆有若干根，各从动杆沿着螺纹筒的外圈周向均匀设置；