[发明专利]一种酸扩散抑制剂的制备方法及光刻胶组合物

权利要求书

1.一种酸扩散抑制剂的制备方法，其特征在于，通过一锅法制备酸扩散抑制剂，其包括以下步骤：

步骤S01、将甲基丙烯酸酐、烷基醇类、胺类物质和催化剂按一定摩尔比与反应溶剂混合得到混合物，所述甲基丙烯酸酐、烷基醇类、胺类物质和催化剂的摩尔比为1:2:（2~4）:（0.01~0.1）；

步骤S02、将所述混合物加热至80-90℃进行反应，并反应8~12h；

步骤S03、将步骤S02中得到的反应溶液用饱和氢氧化钠水溶液洗涤，分液后得到有机相浓缩物为所述酸扩散抑制剂；

所述烷基醇类的烷基为环戊基、环己基中的任意一种；

所述胺类物质为正丁胺、异丁胺、新丁胺、乙二胺、丙二胺、丁二胺、己二胺、苯胺、甲基苯胺、乙基苯胺、丁基苯胺、二苯胺、环己基苯胺、二（对甲基）苯胺、二（对叔丁基）苯胺、二（对甲氧基）苯胺、二（对硝基）苯胺、哌啶、4-甲基哌啶、4-乙基哌啶、4-叔丁基哌啶、4-吡咯烷-1-基-哌啶、4-哌啶基哌啶、4-二甲胺基哌啶、4-二乙胺基哌啶、N-乙基-N-甲基-4-哌啶胺或N-丙基-N-甲基-4-哌啶胺、哌嗪中的任意一种；

所述催化剂为乙酰丙酮锰。

2.如权利要求1所述的酸扩散抑制剂的制备方法，其特征在于，所述反应溶剂包括甲苯、二甲苯、环己酮、甲苯环己酮、氯苯、二氯苯、二氯乙烷、丙酮、甲基丁酮、甲基异丁酮、DMF、DMSO、四氢呋喃中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的酸扩散抑制剂的制备方法，其特征在于，步骤S02中反应时间为9~12h。

4.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括权利要求1-3任一权利要求制得的酸扩散抑制剂、以及酸活性树脂、光敏剂及有机溶剂，其质量比例是酸活性树脂1-15%，光敏剂0.1-5%，酸扩散抑制剂0.001-3%，溶剂75-98%，所述光敏剂为全氟丁基磺酸三苯基硫鎓盐。

5.根据权利要求4所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述酸活性树脂包括两种酸活性基团和两种极性基团。

6.根据权利要求4所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述有机溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯：丙二醇甲醚＝5：5的混合溶液。