[发明专利]三轴加速度传感器

权利要求书

1.一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向；其特征在于，所述传感器还包括：

第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件与梁连接；

第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；以及

第三可动质量块，通过第三弹性元件与第一可动质量块连接，所述第三弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第三可动质量块可绕XZ平面转动；

第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。

2.根据权利要求1所述的三轴加速度传感器，其特征在于，所述锚点为四个，以所述三轴加速度传感器的中心呈对称布置，并通过梁彼此连接。

3.根据权利要求1所述的三轴加速度传感器，其特征在于，所述X方向与Y方向的双向弹性元件为直角折叠弹簧。

4.根据权利要求1所述的三轴加速度传感器，其特征在于，还包括：

至少两个由基板表面设置的金属层组成的第一Z电极，位于锚点两侧，对应位于第二可动质量块表面的电极，组成至少一个差分电容对；

至少两个由基板表面设置的金属层组成的第二Z电极，位于锚点两侧，对应位于第三可动质量块表面的电极，组成至少一个差分电容对。

5.根据权利要求1所述的三轴加速度传感器，其特征在于，第一Z电极和第二Z电极在锚点两侧交叉布置，第二可动质量块对应的金属电极在一侧为差分电容的正电极时，同一侧的第三可动质量块对应的金属电极为差分电容的负电极。

6.根据权利要求1所述的三轴加速度传感器，其特征在于，第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧，且相对于锚点的力矩相同。