[发明专利]一种晶圆涂膜设备

权利要求书

1.一种晶圆涂膜设备，其结构包括储存箱(1)、按钮(2)、显示器(3)、输膜器(4)，所述按钮(2)安装在储存箱(1)左侧，所述显示器(3)嵌设于储存箱(1)前侧，所述输膜器(4)两端分别通过焊接连接于储存箱(1)背面与储存箱(1)顶部，其特征在于：

所述储存箱(1)包括储存腔(11)、固定板(12)、涂膜箱(13)、通管(14)，所述储存腔(11)嵌设于储存箱(1)内部，且储存腔(11)与输膜器(4)一端相接通，所述固定板(12)通过水平焊接连接于储存腔(11)内壁，所述涂膜箱(13)底部嵌固于固定板(12)上表面，所述通管(14)垂直设于涂膜箱(13)顶部，且通管(14)顶部与输膜器(4)另一端相连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆涂膜设备，其特征在于：所述涂膜箱(13)包括盖板(131)、把手(132)、涂膜槽(133)、刮板(134)、支撑台(135)、固定块(136)，所述盖板(131)底部与涂膜箱(13)上内壁相啮合，所述把手(132)通过螺栓连接于盖板(131)顶部外表面，所述涂膜槽(133)嵌设于盖板(131)与涂膜箱(13)内部，所述刮板(134)顶部嵌固于盖板(131)内底部，所述支撑台(135)安装在刮板(134)正下方，且支撑台(135)嵌固于涂膜箱(13)内壁，所述固定块(136)上表面与涂膜箱(13)底部相焊接，且固定块(136)安装在涂膜箱(13)内底部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆涂膜设备，其特征在于：所述支撑台(135)包括支撑杆(a)、支撑簧(b)、夹板(c)、空槽(d)、支撑块(e)，所述支撑杆(a)嵌固于支撑台(135)外表面，所述支撑簧(b)一端通过焊接连接于支撑台(135)内壁，所述夹板(c)与支撑簧(b)另一端相连接，所述空槽(d)嵌设于支撑台(135)内壁，且空槽(d)位于夹板(c)内侧，所述支撑块(e)嵌固于空槽(d)中心处。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆涂膜设备，其特征在于：所述支撑杆(a)包括限位块(a1)、弹簧(a2)、移动板(a3)、移动杆(a4)，所述限位块(a1)嵌固于支撑杆(a)内壁，所述弹簧(a2)顶部通过焊接连接于支撑杆(a)上内壁，所述移动板(a3)上表面与弹簧(a2)末端相连接，且移动板(a3)左右两壁与限位块(a1)相贴，所述移动杆(a4)贯穿于支撑杆(a)下壁，且移动杆(a4)顶部与移动板(a3)相连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆涂膜设备，其特征在于：所述移动杆(a4)包括顶块(a41)、顶槽(a42)、连接块(a43)、压板(a44)，所述顶块(a41)与移动杆(a4)为一体化结构，所述顶槽(a42)嵌设于顶块(a41)内底部，所述连接块(a43)通过螺栓连接于顶槽(a42)内壁，所述压板(a44)连接于两块连接块(a43)之间。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆涂膜设备，其特征在于：所述夹板(c)包括夹块(c1)、凹槽(c2)、拉簧(c3)、隔板(c4)，所述夹块(c1)嵌固于夹板(c)右侧，所述凹槽(c2)嵌设于夹板(c)内部，所述拉簧(c3)一端通过焊接连接于凹槽(c2)内部，所述隔板(c4)通过间隙贯穿于凹槽(c2)内壁，且隔板(c4)与拉簧(c3)相连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆涂膜设备，其特征在于：所述夹块(c1)由导板(c11)、导管(c12)、定位板(c13)、支撑块(c14)、支撑柱(c15)、顶板(c16)组成，所述导管(c12)嵌设于导板(c11)内部，所述定位板(c13)左端嵌固于导板(c11)右内壁，所述支撑块(c14)与支撑柱(c15)底部均嵌固于定位板(c13)上表面，所述顶板(c16)底部通过焊接连接于支撑块(c14)顶端。