[发明专利]一种晶圆自动下片、检测生产线

权利要求书

1.一种晶圆自动下片、检测生产线，其特征在于：包括用以实现晶圆载具上料的进料料仓、用以实现晶圆下片的下片装置、用以实现晶圆载具下料的出料料仓以及用以实现晶圆检测的检测装置；

所述下片装置包括下片机架，所述下片机架上设有倍速链输送线、第一载具定位机构、自动下螺丝机构、第二载具定位机构、取放机械臂、盖板放置台、晶圆放置台和载具举升机构，所述第一载具定位机构、所述第二载具定位机构和所述载具举升机构沿所述倍速链输送线的输送方向依次设置，所述自动下螺丝机构位于所述第一载具定位机构的上方，且与所述第一载具定位机构相对应，所述取放机械臂和所述盖板放置台均位于所述倍速链输送线的一侧，且与所述第二载具定位机构相对应，所述取放机械臂的工作轴端部设有用以实现盖板和晶圆取放的取放料机构，所述晶圆放置台位于所述倍速链输送线的出料端，且所述倍速链输送线的出料端还设有与所述载具举升机构对应设置的载具下料拨送机构；

所述第一载具定位机构、所述第二载具定位机构均包括分别由夹持气缸驱动的升降托板和固定安装于所述下片机架上的限位块、限位板，所述升降托板的顶面设有用以实现晶圆载具定位的定位销，所述限位块和所述限位板均于所述倍速链输送线的两侧，且对应设置，处于定位状态时，晶圆载具的托盘定位夹持于所述升降托板和所述限位块之间，且所述第一载具定位机构的所述限位板延伸至晶圆载具的盖板设置，所述第二载具定位机构的所述限位板延伸至晶圆载具的载片板设置；

所述进料料仓和所述出料料仓均包括与所述下片机架连接的料仓架体，所述料仓架体上沿竖直方向滑动安装有第一驱动装置驱动的载具料筐，所述载具料筐具有若干载具放置位，且所述进料料仓的一侧还设有载具上料拨送机构，所述进料料仓的载具出料口与所述下片装置的载具上料口相对应，所述出料料仓的载具进料口与所述下片装置的载具下料口相对应；

所述检测装置包括与所述下片机架连接的检测机架，所述检测机架上自靠近所述下片机架的一端至另一端依次设有中转取料机构、晶圆转送机构、晶圆检测机、测试取料机构、中转放置台、花篮放置架和旋转放料机构，所述中转取料机构与所述晶圆放置台对应设置，所述晶圆转送机构与所述中转取料机构对应设置，所述晶圆检测机和所述测试取料机构分别靠近所述检测机架的两侧、且对应设置，所述中转放置台与所述晶圆转送机构对应设置，所述晶圆检测机朝向所述测试取料机构的一侧设有晶圆检测台，且于所述晶圆检测台上取放晶圆状态时，所述晶圆检测台位于所述中转放置台和所述晶圆转送机构中间，所述花篮放置架上设有若干花篮放置位，且所述花篮放置架上分别设有与所述花篮放置位对应设置的花篮定位机构，所述旋转放料机构于所述花篮放置架的上料侧设置。

2.如权利要求1所述的一种晶圆自动下片、检测生产线，其特征在于：所述载具料筐的两内侧设有若干载具托板，若干所述载具托板两两对应设置，且对应设置的两所述载具托板间形成与晶圆载具宽度相适配的所述载具放置位；

所述载具上料拨送机构包括第二驱动装置驱动的拨爪，对晶圆载具拨送时，所述拨爪延伸至所述载具料筐内，且与所述进料料仓的载具出料口对应设置，在所述第二驱动装置驱动下，所述拨爪沿朝向或远离所述进料料仓的载具出料口方向位移。

3.如权利要求2所述的一种晶圆自动下片、检测生产线，其特征在于：所述倍速链输送线包括固定安装于所述下片机架上的输送架体，所述输送架体的一端转动安装有第三驱动装置驱动的传动轴，所述传动轴的两端分别键连接有主动齿轮，所述输送架体的另一端转动安装有分别与所述主动齿轮对应设置的从动齿轮，对应设置的所述主动齿轮和所述从动齿轮之间架绕有倍速链，且所述主动齿轮和所述从动齿轮通过所述倍速链传动相连。

4.如权利要求3所述的一种晶圆自动下片、检测生产线，其特征在于：所述自动下螺丝机构设有两套，且分别沿所述倍速链输送线的输送方向排列设置；

所述自动下螺丝机构包括第四驱动装置驱动的电批安装板，所述电批安装板上通过第一缓冲机构安装有电批；

所述下片机架上还固定安装有若干螺钉导料管，对晶圆载具定位状态时，所述螺钉导料管顶端进口分别与晶圆载具上的螺钉落料孔对应设置，所述下片机架底部固定安装有与所述螺钉导料管出口对应设置的螺钉滑道，所述螺钉滑道的出口位于所述下片机架一侧。