[发明专利]显示装置的制造装置

说明书

公开本发明的显示装置的制造装置。本发明的显示装置的制造装置包括：多个激光生成部；第一测定部，测定从各个所述激光生成部发出的激光的一部分；光学系统，使从各个所述激光生成部发出的激光入射而生成一个工艺激光；第二测定部，测定从所述光学系统发出的所述工艺激光；以及控制部，基于由所述第一测定部测定的各个所述激光与由所述第二测定部测定的所述工艺激光来调节所述激光从各个所述激光生成部发出的时间点。

技术领域

本发明的实施例涉及装置，更加详细地，涉及显示装置的制造装置。

背景技术

基于移动性的电子设备正在被广泛应用。除了诸如移动电话等小型电子设备以外，近来，平板计算机也作为移动用电子设备而被广泛使用。

为了支持多种功能，如上所述的移动型电子设备包括用于向用户提供诸如图像或者影像等视觉信息的显示装置。近来，随着用于驱动显示装置的其他部件被小型化，显示装置在电子设备中占据的比重呈现逐渐增加的趋势，能够在平坦的状态下以具有预定角度的方式弯曲的结构也正在被研发。

如上所述的显示装置可以包括多种薄膜晶体管。此时，显示装置的性能或者画质可以通过制造薄膜晶体管的精密程度而被决定。

发明内容

通常，在制造显示装置的薄膜晶体管之前需要将硅膜晶化。硅膜的晶化程度可以通过在这种硅膜的晶化时使用的激光强度变化等而被决定。然而，由于这种用于硅膜的晶化的激光是将多个激光结合而使用的，因此可能难以控制，并且生成与设计的激光相同或者相似的形态的激光可能相当困难。本发明的实施例提供能够通过实时监控而生成与设计的激光相同或者相似的激光而执行工艺的显示装置的制造装置。

本发明的一实施例公开一种显示装置的制造装置，包括：多个激光生成部；第一测定部，测定从各个所述激光生成部发出的激光的一部分；光学系统，使从各个所述激光生成部发出的激光入射而生成一个工艺激光；第二测定部，测定从所述光学系统发出的所述工艺激光；以及控制部，基于由所述第一测定部测定的各个所述激光与由所述第二测定部测定的所述工艺激光来调节所述激光从各个所述激光生成部发出的时间点。

在本实施例，所述第一测定部可以感测根据时间的所述激光的强度。

在本实施例，所述第二测定部可以感测根据时间的所述工艺激光的强度。

在本实施例，所述控制部可以算出由所述第一测定部测定的所述激光的参数以及由所述第二测定部测定的所述工艺激光的参数中的至少一个。

在本实施例，所述参数可以包括半高峰宽(pulse duration)、第二峰值强度值(2^ndhump ratio)以及根据时间的强度的积分值(integral of pulse)中的至少一个。

在本实施例，所述控制部可以判断所述工艺激光的参数是否与预先设定的设定值相同或者是否包括于设定范围。

在本实施例，可以在所述工艺激光的参数与所述设定值不对应或者脱离所述设定范围的情形下，所述控制部以从所述第一测定部测定的所述激光的参数为依据而重新调整各个所述激光生成部使所述激光振荡的时间点。

在本实施例，还可以包括：平台，安置被从所述光学系统发出的所述工艺激光照射的基板。

本发明的另一实施例公开一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在彼此不同的时间点分别使多个激光振荡；所述多个激光生成为一个工艺激光；测定所述工艺激光根据时间的强度；以所述工艺激光的强度为依据算出所述工艺激光的参数。

在本实施例，还可以包括将所述工艺激光的参数与预先设定的设定值比较或者与预先设定的设定范围比较的步骤。

在本实施例，还可以包括在所述工艺激光的参数与所述设定值不同或者脱离所述设定范围的情形下调整使各个所述激光振荡的时间点的步骤。