[发明专利]一种巴条自动镜检设备

说明书

本申请公开了一种巴条自动镜检设备，其包括工作载台，工作载台上设置有上料Tray盘、第一上下料组件、第二上下料组件和相机检测组件，工作载台上还设置有Tray盘移载组件和第二上下料组件移动装置，上料Tray盘用于存放待测巴条；第一上下料组件用于拿取待测巴条，并将检测后的巴条放回上料Tray盘；第二上下料组件用于拿取第一上下料组件上的待测巴条，将其转移至相机检测组件的检测区域；及将检测后的巴条转移至第一上下料组件；相机检测组件用于对待测巴条进行检测；Tray盘移载组件用于驱使上料Tray盘移动，以使上料Tray盘上的待测巴条到达第一上下料组件的拿取区域。其具有提高巴条检测效率，适于大规模生产巴条的效果。

技术领域

本申请涉及激光巴条外观检测的技术领域，具体涉及一种巴条自动镜检设备。

背景技术

在激光半导体行业中，将晶圆被解离为巴条后，需要对巴条进行严格的外观检查，主要对P面、AR面和HR面(其中P面为巴条的侧面，AR面与HR面为巴条的端面)的破损以及污染情况进行检查。

目前的生产过程中，一般采用人工来完成外观检测工作，但检测工作的劳动强度大，容易引起视觉疲劳，导致检测效率低下，不易实现大规模生产。

发明内容

因此，本申请的目的是提供一种巴条自动镜检设备，其具有提高巴条检查效率的效果，本申请的技术方案如下：

一种巴条自动镜检设备，包括工作载台，所述工作载台上设置有上料Tray盘、第一上下料组件、第二上下料组件和相机检测组件，工作载台上还设置有用于带动上料Tray盘移动的Tray盘移载组件和用于带动第二上下料组件移动的第二上下料组件移动装置，其中：

上料Tray盘，用于存放若干个待测巴条；

第一上下料组件，用于拿取上料Tray盘中的待测巴条，并将检测后的巴条放回至上料Tray盘；

第二上下料组件，用于拿取第一上下料组件上的待测巴条，并在第二上下料组件移动装置的作用下，将其转移至相机检测组件的检测区域；及

在第二上下料组件移动装置的作用下，将相机检测组件检测后的巴条转移至第一上下料组件；

相机检测组件，用于对第二上下料组件转移来的待测巴条的P面、AR面和HR面进行检测；

Tray盘移载组件，用于驱使上料Tray盘沿水平方向移动，以使上料Tray盘上的待测巴条到达第一上下料组件的拿取区域。

进一步的，所述相机检测组件包括设置在工作载台上的两个XYZ三轴滑台，每个所述XYZ三轴滑台上均设置有端面检测相机组件，两个所述端面检测相机组件均沿水平方向设置，且两个端面检测相机组件的轴线重合，两个端面检测相机组件分别用于检测巴条的HR面和AR面，所述工作载台上沿竖直方向设有第一连接轴，所述第一连接轴的侧面安装有P面检测相机组件，所述P面检测相机组件的轴线沿竖直方向设置，P面检测相机组件的轴线与两个端面检测相机组件的连线交汇于一点，P面检测相机组件用于检测巴条的P面。

进一步的，所述第一上下料组件包括设置在工作载台上的气缸，所述气缸沿竖直方向设置，且气缸的活塞杆上设置有吸盘固定座，所述吸盘固定座的底面上设置有第一吸盘。

进一步的，所述工作载台上设置有第二连接轴，所述第二连接轴的侧面设置有字符识别相机组件，所述字符识别相机组件的镜头朝下设置，字符识别相机组件用于识别巴条的wafer号。

进一步的，所述第二上下料组件移动装置包括Y轴运动组件、X轴运动组件以及Z轴和R轴运动组件，所述Y轴运动组件用于带动X轴运动组件沿Y轴方向滑移，所述X轴运动组件用于带动Z轴和R轴运动组件沿X轴方向滑移，所述Z轴和R轴运动组件用于带动第二上下料组件沿Z轴方向滑移或绕Z轴转动。