[发明专利]一种旋转电极镀膜系统

权利要求书

1.一种旋转电极镀膜系统，其特征在于，包括：

电极组件(1)，包括：电极架组件、射频电极片(12)和接地电极片(14)；

所述射频电极片(12)和所述接地电极片(14)平行间隔设置在所述电极架组件上，所述射频电极片(12)与射频电源电连接，所述接地电极片(14)与所述射频电极片(12)相互绝缘；

公转组件(2)，用于驱动所述电极架组件绕设定中心转动；

自转组件(3)，与所述电极架组件传动连接，用于驱动所述电极架组件绕自身轴线转动，所述设定中心与所述电极架组件的自身轴线间隔设置；所述自转组件(3)包括自转主动齿轮(31)和转轴(32)，所述自转主动齿轮(31)固定套设在所述转轴(32)上，所述自转主动齿轮(31)与所述电极架组件传动连接；

所述公转组件(2)包括公转主动齿轮(21)和公转从动齿轮(22)，所述公转主动齿轮(21)与所述公转从动齿轮(22)相啮合，所述电极架组件转动设置在所述公转从动齿轮(22)上，所述设定中心为所述公转从动齿轮(22)的转动中心；

所述转轴(32)穿设在所述公转从动齿轮(22)上，且与所述公转从动齿轮(22)同轴线设置；

所述电极架组件包括电极架(11)和自转从动齿轮(16)，所述自转从动齿轮(16)转动设置在所述公转从动齿轮(22)上，且与所述自转主动齿轮(31)相啮合，所述电极架(11)设置在所述自转从动齿轮(16)上，所述射频电极片(12)和所述接地电极片(14)均设置在所述电极架(11)上；

旋转电极装置(4)，所述旋转电极装置(4)包括相互连接的第一旋转电极组件和第二旋转电极组件，所述转轴(32)的上端转动设置在所述第一旋转电极组件上，所述电极架组件转动设置在所述第二旋转电极组件上。

2.根据权利要求1所述的一种旋转电极镀膜系统，其特征在于，所述射频电极片(12)和接地电极片(14)沿所述电极架组件的高度方向间隔设置多个，且所述射频电极片(12)和所述接地电极片(14)一一对应设置。

3.根据权利要求1所述的一种旋转电极镀膜系统，其特征在于，所述第一旋转电极组件包括同轴线设置的第一外环件(41)和第一内环件(43)，所述第一外环件(41)与所述第一内环件(43)之间设置第一中继滚子(42)，所述第一内环件(43)固定套设在所述转轴(32)上。

4.根据权利要求1所述的一种旋转电极镀膜系统，其特征在于，所述第二旋转电极组件包括同轴线设置的第二外环件(44)和第二内环件(46)，所述第二外环件(44)与所述第二内环件(46)之间设置第二中继滚子(45)，所述第二内环件(46)固定套设在所述电极架组件，所述第二外环件(44)与所述射频电极片(12)电连接。

5.根据权利要求3所述的一种旋转电极镀膜系统，其特征在于，所述第一外环件(41)上设置有开口部，于所述开口部的位置设置有锁紧组件(47)，所述锁紧组件(47)包括：

两块连接耳板(471)，间隔设置在所述开口部的两端；

安装轴(472)，穿设在两块所述连接耳板(471)上；

弹性件(473)，套设在所述安装轴(472)上，且一端与所述安装轴(472)的端部抵接，另一端与其中一块所述连接耳板(471)抵接。