[发明专利]一种基于紫外光辅助进行的VOCs气体探测系统和方法

权利要求书

1.一种基于紫外光辅助进行的VOCs气体探测系统和方法，包括气体探测装置、质量流量控制器、真空泵、数字源表、计算机以及气管和导线若干；气体探测装置包括LED紫外光源、传感器、石英密封腔，在该石英密封腔的边缘设置有允许目标气体通过的气体通道，气体通道包括至少一个入口和至少一个出口；质量流量控制器用于控制目标气体以指定流量进入气体探测装置；真空泵用于加速气体探测装置内的气体交换；数字源表用于测量敏感元件的电流；计算机用于控制质量流量控制器及数字源表。

2.根据权利要求1的基于紫外光辅助进行的VOCs气体探测系统和方法，其特征在于，气体探测装置内包括传感元件和LED紫外光源，LED紫外光源与传感元件之间的距离为5cm。

3.根据权利要求2的气体探测装置，其特征在于，LED紫外光源可移动地置于气体探测装置内。

4.根据权利要求2的气体探测装置，其特征在于，LED紫外光源与敏感元件均位于传感元件的平面中心位置。

5.根据权利要求2的气体探测装置，其特征在于，LED紫外光源的光斑尺寸大于敏感元件的尺寸。

6.根据权利要求1的基于紫外光辅助进行的VOCs气体探测系统和方法，其特征在于，质量流量控制器置于气体探测装置外，用于控制目标气体及洁净空气以指定流量进入气体探测装置边缘设置的气体通道入口。

7.根据权利要求1的基于紫外光辅助进行的VOCs气体探测系统和方法，其特征在于，真空泵用于加速气体探测装置内的气体交换。

8.根据权利要求1的基于紫外光辅助进行的VOCs气体探测系统和方法，其特征在于，数字源表接通传感元件的电极两端，用于施加电压后测量气体传感器在目标气体中的电流变化。

9.根据权利要求1的基于紫外光辅助进行的VOCs气体探测系统和方法，其特征在于计算机用于控制质量流量控制器及数字源表，并对数字源表的测量结果进一步处理分析。