[发明专利]一种条形靶材组件的厚度评价方法

说明书

本发明涉及一种条形靶材组件的厚度评价方法，所述厚度评价方法包括：在条形靶材组件的溅射面测试位点采用超声测厚仪进行厚度测量，各条测试位点的厚度值≥预设值，则所述条形靶材组件合格；所述测试位点分布在沿条形靶材与靶材长边平行的直线上，所述直线从一个宽边延伸到另一个宽边，所述直线至少分布3条，每条直线上分布5‑8个检测点。本发明提供的方案，通过选择合适的位点个数，测定特定的测试点处靶材的厚度，与预设值相对比，实现了条形靶材组件厚度的精准把控，可以保证靶材在溅射过程中不被击穿，显著地提高了溅射过程中的作业效率，可以有效地提高产品的良品率。

技术领域

本发明涉及靶材领域，具体涉及一种条形靶材组件的厚度评价方法。

背景技术

靶材作为溅射镀膜的溅射源，常用的靶材有多种，如钛靶材、铝靶材和钼靶材等。常见的条形靶材主要的条形钼靶。

如CN108950494A公开了一种长条形钼靶材的制作方法，包括如下步骤：混料、冷等静压、烧结、热轧、退火、裁切、机加工，得到多条长条形钼靶。本发明的长条形钼靶材的制作方法采用提高坯料单重，一次热轧出一块大板，然后分割成多块长条形钼靶材，大大提高了生产效率，使得靶材与靶材之间的一致性较好，成品率高，节省原材料，保证了产品的质量。CN1386879A公开了一种铝合金靶材的制造技术，它能够容易地使铝母相中的铝-碳相无大的偏析，微细析出。在该铝中含碳的铝系合金靶材的制造方法中,将铝投入碳坩埚中，加热至1600-2500℃，将铝熔化，在碳坩埚中生成铝-碳合金，使该熔液冷却凝固，由此形成铝-碳相均匀微细地分散在铝母相中的铝-碳合金。或者，将该铝-碳合金再熔化，加入镁等添加元素，搅拌后进行铸造。

CN102922225A公开了一种钼靶材的制备方法，该方法是将钼锭经加热挤压，加热锻造和加热轧制后校平，再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钼靶材。通过本发明的制备方法可获得晶粒尺寸、相对密度以及产品尺寸均满足镀膜行业要求的钼靶材，实验显示，制备钼靶材晶粒尺寸在120-160μm之间，相对密度大于99％。

靶材在溅射过程中，对于的厚度尺寸要求非常高，但是由于靶材组件是由靶材和背板两部分焊接而成，从尺寸上无法识别车削厚度，很难把控，且车削过多或多少，会影响产品在腔体内的溅射效果。

然而，现阶段条形靶材组件的厚度，仅是通过测量焊接前靶材和背板各自的厚度及焊接加工中的加工量对靶材的厚度进行大致判断，无法准确的测定或判定靶材的厚度，同时由于条形钼靶材形状的特殊性不宜采用原有的厚度测试方法，进而无法杜绝由于靶材厚度不合格导致溅射过程中靶材击穿进而将背板作为靶材进行溅射，对产品造成不可逆的损害，影响生产效率。

发明内容

鉴于现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种条形靶材组件的厚度评价方法，实现了条形靶材组件厚度的精准测定，可使得溅射过程中靶材在不击穿的情况下对靶材进行高效的利用，同时也解决了靶材击穿所带来的影响生产效率，对产品造成损害的问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供了一种条形靶材组件的厚度评价方法，所述厚度评价方法包括：在条形靶材组件的溅射面测试位点采用超声测厚仪进行厚度测量，各个测试位点的厚度值≥预设值，则所述条形靶材组件合格；

所述测试位点分布在沿条形靶材与靶材长边平行的直线上，所述直线从一个宽边延伸到另一个宽边，所述直线至少分布3条，每条直线上分布5-8个检测点。

本发明提供的方案，通过选择合适的位点个数，测定特定的测试点处靶材的厚度，与预设值相对比，实现了条形靶材组件厚度的精准把控，可以保证靶材在溅射过程中不被击穿，显著地提高了溅射过程中的作业效率，可以有效地提高产品的良品率。