[发明专利]一种显示面板以及显示面板的制作方法

权利要求书

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

第一金属层，所述第一金属层包括至少一条第一金属线；

绝缘层，所述绝缘层覆盖在所述第一金属层上；以及

第二金属层，所述第二金属层覆盖在所述绝缘层上，所述第二金属层包括与所述第一金属线交叠设置的至少一条第二金属线；

所述第一金属线包括不与所述第二金属线交叠的平坦部和与所述第二金属线交叠的交叠部；沿第一方向，所述交叠部的厚度小于所述平坦部的厚度，所述交叠部的横截面积与所述平坦部的横截面积相同。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述平坦部与所述交叠部的厚度之比为1.5-2。

3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，沿所述第一金属线的延伸方向，所述交叠部边缘与所述第二金属线边缘之间的距离大于或等于3微米。

4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属层包括多条第一金属线，且所述多条第一金属线相互平行；所述第二金属层包括多条第二金属线，且所述多条第二金属线相互平行；所述第一金属线垂直于所述第二金属线。

5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属层为栅极线金属层，所述第一金属线为栅极线；所述第二金属层为数据线金属层，所述第二金属线为数据线。

6.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属层为数据线金属层，所述第一金属线为数据线；所述第二金属层为栅极线金属层，所述第二金属线为栅极线。

7.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供第一金属层，并对所述第一金属层进行局部差异图案化，形成包括平坦部和交叠部的至少一条第一金属线，其中，所述平坦部的横截面积等于所述交叠部的横截面积，所述平坦部的厚度大于所述交叠部的厚度，所述平坦部的宽度小于所述交叠部的宽度；

在所述第一金属层上形成绝缘层；

在所述绝缘层上形成第二金属层，并对所述第二金属层进行图案化，形成至少一条第二金属线，所述第二金属线与所述交叠部交叠。

8.根据权利要求7所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述提供第一金属层，并对所述第一金属层进行图案化，形成包括平坦部和交叠部的至少一条第一金属线包括：

提供第一金属层；

在所述第一金属层上涂布光刻胶，形成光阻层；

使用半透掩膜板对所述光阻层进行曝光和显影，形成二次光阻层，所述二次光阻层包括第一光阻部和第二光阻部，其中，所述第一光阻部的厚度大于所述第二光阻部的厚度；

对所述二次光阻层进行第一次刻蚀；

对第一次刻蚀后的二次光阻层进行光阻灰化处理，使得第二光阻部被完全去除，暴露出所述第一金属层，同时形成至少一条第一金属线；

对所述第一金属线进行第二次刻蚀，形成交叠部；

对所述第一光阻部进行剥离，形成平坦部。

9.根据权利要求8所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述半透掩膜板为半色调掩膜板或灰色调掩膜板。