[发明专利]一种GaN基射频器件的封装结构有效

专利信息
申请号: 202110059397.1 申请日: 2021-01-18
公开(公告)号: CN112951777B 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 徐迪;史闻;江大白;谢志峰 申请(专利权)人: 芯威半导体有限公司
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/427
代理公司: 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 代理人: 马威
地址: 518107 广东省深圳市光明*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 gan 射频 器件 封装 结构
【权利要求书】:

1.一种GaN基射频器件的封装结构,包括基板(1)、设置在基板(1)上GaN芯片(2)以及与基板(1)合围将GaN芯片(2)密封的封装结构,其特征在于,所述封装结构包括封装壳体(3)、设置在封装壳体(3)内部顶端的散热组件以及均匀设置在封装壳体(3)顶部的散热翅片(4),其中,所述封装壳体(3)顶部两侧设置有向中心倾斜的斜面(31);

所述散热组件包括呈框型的散热壳体(41),所述散热壳体(41)的底部呈波浪状,散热壳体(41)的顶部与封装壳体(3)顶部相互适配,所述散热壳体(41)内部对应波谷位置处的水平设置有散热管(5),所述散热壳体(41)内部对应波峰位置处均匀倾斜设置有进气管(6),且进气管(6)一端延伸与散热管(5)连通,进气管(6)的另一端与封装壳体(3)内部连通,所述散热管(5)的底部均匀垂直设置有出气管(7),且出气管(7)的底端延伸至散热壳体(41)底部,所述散热壳体(41)的内部填装有冷却液;

所述散热翅片(4)的内部气体液化腔(42),且气体液化腔(42)两端朝向中心向下倾斜,所述散热壳体(41)顶部的两端与气体液化腔(42)之间均匀设置有漏斗管一(8),所述散热壳体(41)的中心与气体液化腔(42)中心之间均匀设置有漏斗管二(9),其中,所述漏斗管一(8)大孔径位于散热壳体(41)的一端,漏斗管二(9)的大孔径位于气体液化腔(42)的一端。

2.根据权利要求1所述的一种GaN基射频器件的封装结构,其特征在于:所述进气管(6)与出气管(7)的位置相互交错。

3.根据权利要求1所述的一种GaN基射频器件的封装结构,其特征在于:所述冷却液采用二硫化碳。

4.根据权利要求1所述的一种GaN基射频器件的封装结构,其特征在于:所述冷却液的液面高于散热管(5)的高度。

5.根据权利要求1所述的一种GaN基射频器件的封装结构,其特征在于:所述散热管(5)的高度高于散热壳体(41)底部波峰的高度。

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