[发明专利]一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂及其制备方法在审
| 申请号： | 202110059113.9 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112877698A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李艳艳 | 申请（专利权）人： | 李艳艳 |
| 主分类号： | C23F11/14 | 分类号： | C23F11/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市番*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 嘧啶 咪唑 啉缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂，其特征在于，所述嘧啶咪唑啉缓蚀剂，具有式(I)分子结构：
式中，R为C1～C12的烷基直链，X为Br或I或OH。
2.一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)对苯二甲酸与N1-(嘧啶-2-基)乙二胺进行酰化、环化反应制备1,4-二((1-嘧啶-2-基)咪唑-2-基)苯(Md-IMZ-B)；
(2)Md-IMZ-B进行季铵化反应。
3.根据权利要求2所述的一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述反应在溶剂中进行，所述溶剂为二甲苯，或二甲苯和N-甲基吡咯烷酮的混合溶剂。
4.根据权利要求2所述的一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述对苯二甲酸与N1-(嘧啶-2-基)乙二胺的投料摩尔比例为1:2～2.5。
5.根据权利要求2所述的一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述Md-IMZ-B与卤代烃发生季铵化反应。
6.根据权利要求5所述的一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述卤代烃为碘代烷或溴代烷。
7.根据权利要求5所述的一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述卤代烃为碳原子为1～12的烷基直链。
8.根据权利要求5或7所述的一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述卤代烃为碳原子数是4～6的溴代烷。
9.根据权利要求2所述的一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述反应在溶剂中进行，所述溶剂为水或醇或两者的混合物。
10.根据权利要求2所述的一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述反应在溶剂中进行，所述溶剂为乙腈或甲苯。
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