[发明专利]高性能湿度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种高性能湿度传感器，包括衬底(1)以及设置于所述衬底(1)上的湿度测量单元(7)，所述湿度测量单元(7)包括湿敏电容以及与所述湿敏电容适配的感湿单元体；其特征是：

在所述衬底(1)上还设置湿度测量单元加热体(9)、参比电容(8)以及测温单元体，其中，通过湿度测量单元加热体(9)能对湿度测量单元(7)加热，参比电容(8)与湿敏电容具有相同的电容结构，通过测温单元体能测量湿度测量单元以及参比电容(8)所处环境的环境温度值。

2.根据权利要求1所述的高性能湿度传感器，其特征是：所述感湿单元体包括设置于湿敏电容上的感湿纳米结构。

3.根据权利要求1或2所述的高性能湿度传感器，其特征是：在进行湿度测量时，通过湿敏电容能得到湿敏电容值C1，通过参比电容(8)能得到参比电容值C2，通过测温单元体能得到当前环境温度值T1，且根据当前环境温度值T1能得到湿敏电容校正系数，根据所述湿敏电容校正系数对湿敏电容值C1校准后，能得到湿敏电容校正值C1’；

在得到湿敏电容校正值C1’以及参比电容值C2后，能得到湿度测量电容值C3，其中，C3＝C2-C1’。

4.根据权利要求2所述的高性能湿度传感器，其特征是：所述湿敏电容、湿度测量单元加热体(9)、参比电容(8)以及测温单元体在衬底(1)上处于同一平面。

5.根据权利要求4所述的高性能湿度传感器，其特征是：所述测温单元体包括测温单元第一测温臂(2)、测温单元第二测温臂(3)以及测温单元第三测温臂(4)，测温单元第一测温臂(2)、测温单元第二测温臂(3)以及测温单元第三测温臂(4)间依次串接；

湿度测量单元(7)以及湿度测量单元加热体(9)位于测温单元第一测温臂(2)与测温单元第二测温臂(3)之间，参比电容(8)位于测温单元第二测温臂(3)与测温单元第三测温臂(4)之间，湿度测量单元加热体(9)位于湿敏电容内，且感湿纳米结构分布于湿敏电容以及湿度测量单元加热体(9)上。

6.根据权利要求2所述的高性能湿度传感器，其特征是：所述湿敏电容、湿度测量单元加热体(9)、参比电容(8)以及测温单元体在衬底(1)上方呈叠层分布。

7.根据权利要求6所述的高性能湿度传感器，其特征是：参比电容(8)以及湿敏电容位于湿度测量单元加热体(9)以及测温单元体的上方，参比电容(8)、湿敏电容通过叠层绝缘隔离层(42)与下方的湿度测量单元加热体(9)以及测温单元体绝缘隔离，湿度测量单元加热体(9)位于湿敏电容的正下方，感湿纳米结构分布于湿敏电容上。

8.根据权利要求6所述的高性能湿度传感器，其特征是：参比电容(8)位于湿敏电容的下方，湿度测量单元加热体(9)、测温单元体在在参比电容(8)与衬底(1)之间；湿度测量单元加热体(9)位于测温单元体的上方，湿敏电容、湿度测量加热体(9)、参比电容(8)以及测温单元体间相互绝缘隔离。

湿度测量单元加热体(9)位于湿敏电容的下方，参比电容(8)以及测温单元体位于湿度测量单元加热体(9)与衬底(1)之间，湿敏电容、湿度测量加热体(9)、参比电容以及测温单元体间相互绝缘隔离。